拉普拉斯(广州)半导体科技有限公司龙占勇获国家专利权
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龙图腾网获悉拉普拉斯(广州)半导体科技有限公司申请的专利鼓泡罐及气相沉积系统获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223176197U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-01发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422489082.2,技术领域涉及:C23C16/448;该实用新型鼓泡罐及气相沉积系统是由龙占勇;韩雪岭;李洪;刘定财;梁展程;刘群设计研发完成,并于2024-10-15向国家知识产权局提交的专利申请。
本鼓泡罐及气相沉积系统在说明书摘要公布了:本实用新型属于薄膜材料生长技术领域,公开了鼓泡罐及气相沉积系统,鼓泡罐,其包括罐体、进气管、出气管以及加热体,进气管由罐体的顶部插入至罐体的底部,位于罐体内的进气管呈螺旋盘柱状;位于最下层螺旋的进气管的管壁间隔开设若干出气口,出气口朝向罐体的底部;出气管由罐体的顶部插入;加热体设置于罐体外侧,以使罐体内部保持在预设温度;气相沉积系统包括反应腔体以及上述的鼓泡罐,出气管连通反应腔体;从而通过进气管呈螺旋盘柱状,能够使载气进入罐体内的路程变长,使载气在罐体内被充分预热,避免载气进入到前驱物时造成温度较大的波动,且出气口周向分散且增加载气的路径,使载气的扩散性更好,保证沉积速率和沉积质量。
本实用新型鼓泡罐及气相沉积系统在权利要求书中公布了:1.鼓泡罐,包括罐体1,其特征在于,所述鼓泡罐还包括: 进气管2,所述进气管2由所述罐体1的顶部插入至所述罐体1的底部,位于所述罐体1内的所述进气管2呈螺旋盘柱状;位于最下层螺旋的所述进气管2的管壁间隔开设若干出气口21,所述出气口21朝向所述罐体1的底部; 出气管3,所述出气管3由所述罐体1的顶部插入,以连通所述罐体1内外; 加热体,所述加热体设置于所述罐体1外侧,以调整所述罐体1内部的温度。
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