拉普拉斯(西安)科技有限责任公司李亮生获国家专利权
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龙图腾网获悉拉普拉斯(西安)科技有限责任公司申请的专利靶材更换辅助装置和镀膜设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223176188U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-01发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422496257.2，技术领域涉及：C23C14/35；该实用新型靶材更换辅助装置和镀膜设备是由李亮生;祁文杰;卢秋霞设计研发完成，并于2024-10-15向国家知识产权局提交的专利申请。
本靶材更换辅助装置和镀膜设备在说明书摘要公布了：本申请涉及半导体或光伏技术领域，尤其涉及一种靶材更换辅助装置和镀膜设备，以解决靶材必须镀膜设备整机停机才能进行更换，并且停机时间长，增加了设备闲置时间，生产效率较低的问题。该靶材更换辅助装置中，第三开口能够与工艺腔室连通，遮挡件能够打开或者密封第三开口，多个靶材更换辅助装置可以设置于镀膜设备的多个第一开口，当至少一个靶材更换辅助装置对应的靶材需要被更换时，至少另一个靶材更换辅助装置的遮挡件可以打开对应的第三开口，使至少另一个靶材更换辅助装置对应的靶材可以继续进行镀膜工艺，从而缩短因更换靶材而耽误的生产时间，步骤简单，能够加快生产节拍，提高生产效率。
本实用新型靶材更换辅助装置和镀膜设备在权利要求书中公布了：1.一种靶材更换辅助装置，其特征在于，应用于镀膜设备，所述镀膜设备包括工艺腔体，所述工艺腔体具有工艺腔室和多个第一开口，所述第一开口能够连通所述工艺腔室和外界，多个所述靶材更换辅助装置能够设置于所述工艺腔体，所述靶材更换辅助装置包括： 隔离件，能够设置于所述工艺腔体，并具有第二开口、第一容纳空间和第三开口，所述第一容纳空间能够通过所述第二开口与外界连通，所述第一容纳空间能够通过所述第三开口与所述工艺腔室连通； 靶材安装件，被所述隔离件支撑，并相对于所述隔离件可拆卸，所述靶材安装件朝向所述第三开口的一侧用于设置靶材，以使所述靶材位于所述第一容纳空间中； 遮挡件，设置于所述隔离件，所述遮挡件相对于所述隔离件可运动，以打开或封闭所述第三开口； 其中，所述隔离件和所述遮挡件能够密封所述第一开口。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人拉普拉斯(西安)科技有限责任公司，其通讯地址为：713700 陕西省西安市西咸新区泾河新城崇文镇泾河三街76号光电子学研究与创新中心3号楼3-4层；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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