吴江南玻华东工程玻璃有限公司;中国南玻集团股份有限公司符红伟获国家专利权
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龙图腾网获悉吴江南玻华东工程玻璃有限公司;中国南玻集团股份有限公司申请的专利一种真空磁控镀膜装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223176187U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-01发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422494534.6，技术领域涉及：C23C14/35；该实用新型一种真空磁控镀膜装置是由符红伟;饶杰奎;岳大勇;秦燕林;邹明阳;张宝立;朱永亮;解孝辉;余华骏设计研发完成，并于2024-10-15向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种真空磁控镀膜装置在说明书摘要公布了：本实用新型涉及一种真空磁控镀膜装置，包括连接轴轴套、连接轴、端头、靶材，端头远离靶材的一端与连接轴轴套之间、端头靠近靶材的另一端与连接轴轴套之间均设置有密封件，密封件与对应的骨架油封相邻设置；密封件包括本体和凸部，本体和凸部均呈环状，凸部设置在本体的一端，凸部与本体同轴，凸部的内周与本体的内周直径相同，凸部的宽度小于本体的宽度；一密封件的凸部较本体靠近端头的一端，另一密封件的凸部较本体靠近端头的另一端。本实用新型提供的真空磁控镀膜装置，设置密封件，不仅起到密封作用，还使密封垫即使在连接轴套旋转时平稳，不倾斜卡死，确保骨架油封良好的使用环境，提高端头稳定性；提高端头密封性能，延长端头使用寿命。
本实用新型一种真空磁控镀膜装置在权利要求书中公布了：1.一种真空磁控镀膜装置，其特征在于，包括连接轴轴套、连接轴、端头、靶材，所述的连接轴轴套设置在所述的连接轴的一端外，所述的端头中部开设有通孔，所述的连接轴轴套设置在所述的端头的通孔内，所述的连接轴另一端用于与所述的靶材连接；所述的连接轴轴套与所述的端头的相对两端之间分别设置有骨架油封； 所述的端头远离所述的靶材的一端与所述的连接轴轴套之间、所述的端头靠近所述的靶材的另一端与所述的连接轴轴套之间均设置有密封件，所述的密封件与对应的骨架油封相邻设置；所述的密封件包括本体和凸部，所述的本体和凸部均呈环状，所述的凸部设置在所述的本体的一端，所述的凸部与所述的本体同轴，所述的凸部的内周与所述的本体的内周直径相同，所述的凸部的宽度小于所述的本体的宽度；一所述的密封件的凸部较其所述的本体靠近所述的端头的一端，另一所述的密封件的凸部较其所述的本体靠近所述的端头的另一端。
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