苏州纳丰真空技术有限公司付礼明获国家专利权
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龙图腾网获悉苏州纳丰真空技术有限公司申请的专利一种靶材加工的真空镀膜装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223176184U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-01发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422487569.7，技术领域涉及：C23C14/34；该实用新型一种靶材加工的真空镀膜装置是由付礼明;刘传省设计研发完成，并于2024-10-15向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种靶材加工的真空镀膜装置在说明书摘要公布了：本实用新型涉及一种靶材加工的真空镀膜装置，包括靶材基座以及靶材，靶材基座上端开设有安装槽，靶材基座装配于安装槽内部，靶材基座上侧装配有定位组件，靶材基座上侧装配有固定组件，定位组件包括齿轮，靶材基座上侧开设有四个圆周对称的旋转槽，四个旋转槽均与安装槽相连通，四个旋转槽内部均转动装配有齿轮，齿轮一侧固定装配有条形定位块，靶材基座上侧开设有环槽，四个旋转槽均与环槽相连通，环槽密封转动装配有内齿环，四个齿轮均与内齿环啮合，固定组件包括定位环，定位环下侧设有外螺纹，安装槽上侧设有与外螺纹螺纹转动匹配的内螺纹，定位环螺纹转动装配于安装槽。
本实用新型一种靶材加工的真空镀膜装置在权利要求书中公布了：1.一种靶材加工的真空镀膜装置，包括靶材基座以及靶材，其特征在于：所述靶材基座上端开设有安装槽，所述靶材基座装配于所述安装槽内部，所述靶材基座上侧装配有定位组件，所述靶材基座上侧装配有固定组件； 所述定位组件包括齿轮，所述靶材基座上侧开设有四个圆周对称的旋转槽，四个所述旋转槽均与所述安装槽相连通，四个所述旋转槽内部均转动装配有所述齿轮，所述齿轮一侧固定装配有条形定位块，所述靶材基座上侧开设有环槽，四个所述旋转槽均与所述环槽相连通，所述环槽密封转动装配有内齿环，四个所述齿轮均与所述内齿环啮合； 所述固定组件包括定位环，所述定位环下侧设有外螺纹，所述安装槽上侧设有与所述外螺纹螺纹转动匹配的内螺纹，所述定位环螺纹转动装配于所述安装槽。
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