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拉普拉斯(西安)科技有限责任公司刘龙龙获国家专利权

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龙图腾网获悉拉普拉斯(西安)科技有限责任公司申请的专利运输装置、载板组件以及加工设备获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223175267U

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-01发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422532892.1,技术领域涉及:B65G54/02;该实用新型运输装置、载板组件以及加工设备是由刘龙龙;祁文杰;李亮生设计研发完成,并于2024-10-18向国家知识产权局提交的专利申请。

运输装置、载板组件以及加工设备在说明书摘要公布了:本申请提供了一种运输装置、载板组件以及加工设备,涉及半导体或光伏材料加工领域,解决了传统的加工设备密封性差的技术问题。运输装置包括:至少一个磁导轨组件,每个磁导轨组件能够与真空腔体的内壁连接,磁导轨组件朝向真空腔体中心的一侧设有悬浮通道;载板磁铁组件,与载板的第一端连接,并与磁导轨组件间隔设置,载板磁铁组件的部分位于悬浮通道,且在磁导轨组件与载板磁铁组件相斥的磁力作用下,载板磁铁组件能够悬浮于悬浮通道;动力组件,穿过真空腔体的内壁,与载板的第二端传动连接,被配置为驱动载板沿第一方向运动。通过这种结构,可以使靠近载板的第一端的真空腔体的侧壁无需开孔以安装磁流体传动组件,减少了加工设备泄漏的风险。

本实用新型运输装置、载板组件以及加工设备在权利要求书中公布了:1.一种运输装置,其特征在于,用于运输载板,应用于真空腔体,其中,所述载板被配置为承载产品,所述载板在第二方向上具有第一端和第二端,所述运输装置包括: 至少一个磁导轨组件,沿第一方向依次设置,每个所述磁导轨组件沿所述第一方向延伸,每个所述磁导轨组件能够与所述真空腔体的内壁连接,其中,所述磁导轨组件朝向所述真空腔体中心的一侧设有悬浮通道,所述悬浮通道沿所述第一方向延伸设置,所述第一方向与所述第二方向具有夹角; 载板磁铁组件,沿所述第一方向延伸,与所述载板的第一端连接,并与所述磁导轨组件间隔设置,所述载板磁铁组件的部分位于所述悬浮通道,且在所述磁导轨组件与所述载板磁铁组件相斥的磁力作用下,所述载板磁铁组件能够悬浮于所述悬浮通道,并带动所述载板的第一端悬浮; 动力组件,穿过所述真空腔体的内壁,与所述载板的第二端传动连接,被配置为驱动所述载板沿所述第一方向运动。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人拉普拉斯(西安)科技有限责任公司,其通讯地址为:713700 陕西省西安市西咸新区泾河新城崇文镇泾河三街76号光电子学研究与创新中心3号楼3-4层;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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