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龙图腾网获悉台湾积体电路制造股份有限公司申请的专利气体接口、半导体工艺系统及离子植入系统获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223178379U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-01发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422567801.8，技术领域涉及：F16L23/024；该实用新型气体接口、半导体工艺系统及离子植入系统是由程俊玮;庄凯富;林艺民;陈国强;赵志慎;陈定承设计研发完成，并于2024-10-23向国家知识产权局提交的专利申请。

本气体接口、半导体工艺系统及离子植入系统在说明书摘要公布了：一种气体接口、半导体工艺系统及离子植入系统。气体接口包括电绝缘的连接管、输入金属气体管线、输出金属气体管线、输入气体联接器。一工艺气体经由电绝缘的一连接管自电接地的一输入金属气体管线流动至一输出金属气体管线。金属气体管线与该连接管之间的多个联接由多个气体联接器密封。各气体联接器包含一密封垫圈，及压缩各别金属气体管线的端部与连接管的一对应端部之间的该密封垫圈的夹具。工艺气体经由该输出金属气体管线递送至半导体工艺工具。在半导体工艺工具处执行至少一个操作，半导体工艺工具利用经由输出金属气体管线递送至工艺工具的工艺气体及至少2千伏的电压两者。连接管可为蓝宝石的。密封垫圈可为多个聚四氟乙烯密封垫圈。

本实用新型气体接口、半导体工艺系统及离子植入系统在权利要求书中公布了：1.一种气体接口，其特征在于，包括： 一电绝缘的连接管； 一输入金属气体管线； 一输出金属气体管线； 一输入气体联接器，在该输入金属气体管线的一端部与该连接管的一第一端部之间，该输入气体联接器包含： 一密封垫圈，设置于该输入金属气体管线的该端部与该连接管的该第一端部之间，及 一压缩夹具，包含接合该输入金属气体管线的该端部的一第一夹持件及接合该连接管的该第一端部的一第二夹持件，该第一夹持件及该第二夹持件固定在一起且抵接该输入金属气体管线的该端部与该连接管的该第一端部之间的该密封垫圈；以及 一输出气体联接器，在该输出金属气体管线的一端部与该连接管的一第二端部之间，该输出气体联接器包含： 一密封垫圈，设置于该输出金属气体管线的该端部与该连接管的该第二端部之间，及 一压缩夹具，包含接合该输出金属气体管线的该端部的一第一夹持件及接合该连接管的该第二端部的一第二夹持件，该第一夹持件及该第二夹持件固定在一起且抵接该输出金属气体管线的该端部与该连接管的该第二端部之间的该密封垫圈。

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