素珀电子科技(上海)有限公司朱玉东获国家专利权
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龙图腾网获悉素珀电子科技(上海)有限公司申请的专利一种升降门及晶圆载具升降传输设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223175747U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-01发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422591351.6，技术领域涉及：B66F7/00；该实用新型一种升降门及晶圆载具升降传输设备是由朱玉东;严梦;刘玮;赵渠设计研发完成，并于2024-10-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种升降门及晶圆载具升降传输设备在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种升降门及晶圆载具升降传输设备，涉及半导体设备技术领域，升降门应用在晶圆载具升降传输设备，升降门包括：固定门板，沿第一方向升降；活动门板，沿第二方向活动设置于所述固定门板，所述活动门板与所述固定门板同步升降，且升降路径覆盖区域的一部分与所述第一转移口沿第二方向的投影重叠；多个伸缩器，间隔布置于所述活动门板朝向所述固定门板的一侧；其中，所述固定门板上升，使所述活动门板覆盖所述第一转移口，再通过多个所述伸缩器驱动所述活动门板向靠近所述第一转移口的方向移动，以密封所述第一转移口。本实用新型至少能够解决升降门密封性较差的问题。
本实用新型一种升降门及晶圆载具升降传输设备在权利要求书中公布了：1.一种升降门，应用在晶圆载具升降传输设备，所述晶圆载具升降传输设备包括腔体100，所述腔体100沿第二方向D2开设有至少一个供晶圆盒150传送的第一转移口110，其特征在于，所述升降门包括： 固定门板，沿第一方向D1升降； 活动门板，沿第二方向D2活动设置于所述固定门板，所述活动门板与所述固定门板同步升降，且升降路径覆盖区域的一部分与所述第一转移口110沿第二方向D2的投影重叠； 多个伸缩器500，间隔布置于所述活动门板朝向所述固定门板的一侧，使所述活动门板与所述固定门板之间在第二方向D2产生相对位移，多个所述伸缩器500用于驱动所述活动门板远离所述固定门板的一侧沿第二方向D2移动，以密封或敞开所述第一转移口110； 其中，所述固定门板上升，使所述活动门板覆盖所述第一转移口110，再通过多个所述伸缩器500驱动所述活动门板向靠近所述第一转移口110的方向移动，以密封所述第一转移口110。
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