湖南大学姜潮获国家专利权
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龙图腾网获悉湖南大学申请的专利一种低温漂硅谐振加速度计结构获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119534916B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-01发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202411752712.9,技术领域涉及:G01P15/097;该发明授权一种低温漂硅谐振加速度计结构是由姜潮;陈盼;姚中洋设计研发完成,并于2024-12-02向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种低温漂硅谐振加速度计结构在说明书摘要公布了:本发明公开了一种低温漂硅谐振加速度计结构,涉及惯性导航的技术领域,该结构包括:中间层、上层玻璃盖板和下层玻璃盖板;上层玻璃盖板和下层玻璃盖板分别盖在中间层的外框架两侧与之键合,使中间层真空封装;将谐振器的支撑点设计在加速度计中间层的几何中心,通过谐振器中心支撑梁将中心锚点、放大杠杆结构与双端固定音叉式谐振器连接,驱动检测梳齿测量出受惯性力影响后的谐振频率,向外部引出频率信号,表征加速度大小;在本发明的设计中,中间层的测量结构仅用一个支撑点与外壳固定,显著降低了热应力对加速度计性能的影响,该设计使得加速度计在温度变化时,双端固定音叉式谐振器接近自由热膨胀状态,从而保持稳定的频率响应。
本发明授权一种低温漂硅谐振加速度计结构在权利要求书中公布了:1.一种低温漂硅谐振加速度计结构,其特征在于,该结构包括:中间层、上层玻璃盖板和下层玻璃盖板; 中间层包括:质量块1、放大杠杆结构2、双端固定音叉式谐振器3、谐振器中心支撑梁4、驱动检测梳齿5、中心锚点6和外框架9; 上层玻璃盖板和下层玻璃盖板分别盖在中间层的外框架两侧与之键合,使中间层真空封装,另外,上层玻璃盖板内部设置金属导线与中间层的驱动检测梳齿5连接; 中心锚点6设置在中间层的正中心并与上层玻璃盖板键合,中间层的机械结构以中心锚点6为中心向两侧对称分布,谐振器侧梁15靠外侧的中心处安装驱动检测梳齿5,驱动检测梳齿5的一端通过谐振器侧梁15连接的谐振器中心支撑梁4与中心锚点6固定,另一端与上层玻璃盖板键合,放大杠杆结构2连接在谐振器中心支撑梁4另一端;双端固定音叉式谐振器3连接在谐振器中心支撑梁4上,谐振器中心支撑梁4的细端16固定在中心锚点6的一侧,两组放大杠杆结构2通过第三梁12分别安装在谐振器中心支撑梁4的粗端17两侧;双端固定音叉式谐振器3包括:第一谐振器横梁13、第二谐振器横梁14和两根谐振器侧梁15; 第一谐振器横梁13和第二谐振器横梁14均固定在谐振器中心支撑梁4上,第一谐振器横梁13更靠近中心锚点6;两根谐振器侧梁15连接在第一谐振器横梁13和第二谐振器横梁14的端点上形成闭合框架结构; 当加速度计结构具有加速度时,质量块1在惯性作用下向放大杠杆结构2施加惯性力,惯性力通过放大杠杆结构2放大,再基于力频特性造成驱动检测梳齿5的谐振频率改变,驱动检测梳齿5测量出受惯性力影响后的谐振频率,并通过金属导线向外部引出频率信号,表征加速度大小。
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