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龙图腾网获悉有维光电(山东)有限公司申请的专利一种采用双谐振腔的全固态连续波真空紫外激光器获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119812910B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-01发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510098584.9，技术领域涉及：H01S3/082；该发明授权一种采用双谐振腔的全固态连续波真空紫外激光器是由王正平;武奎;靳伟;于平章;徐国锋;朱磊;佟梓豪设计研发完成，并于2025-01-22向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种采用双谐振腔的全固态连续波真空紫外激光器在说明书摘要公布了：本发明涉及激光器技术领域，具体涉及一种采用双谐振腔的全固态连续波真空紫外激光器，第一腔镜M1、第一激光晶体C1、第四腔镜M4、第五腔镜M5和第六腔镜M6构成第一激光谐振腔；第二腔镜M2、第二激光晶体C2、第三腔镜M3、第四腔镜M4、第五腔镜M5和第六腔镜M6构成第二激光谐振腔；第一非线性光学晶体O1设置在第五腔镜M5和第六腔镜M6之间，将第一谐振腔产生的526nm的激光倍频成263nm的倍频激光；第二非线性光学晶体O2设置在第四腔镜M4和第五腔镜M5之间，将第二谐振腔产生的725nm基频激光与第一非线性光学晶体O1产生的263nm倍频激光进行和频，产生193nm的真空紫外激光，并经第四腔镜M4输出。本发明提内部结构简单，且需变频的次数少。

本发明授权一种采用双谐振腔的全固态连续波真空紫外激光器在权利要求书中公布了：1.一种采用双谐振腔的全固态连续波真空紫外激光器，其特征在于，包括：第一泵浦源LD1、第一腔镜M1、第一激光晶体C1、第二泵浦源LD2、第二腔镜M2、第二激光晶体C2、第三腔镜M3、第四腔镜M4、第五腔镜M5、第六腔镜M6、第一非线性光学晶体O1和第二非线性光学晶体O2； 其中，所述第一腔镜M1、所述第一激光晶体C1、所述第四腔镜M4、所述第五腔镜M5和所述第六腔镜M6构成第一激光谐振腔； 所述第二腔镜M2、所述第二激光晶体C2、所述第三腔镜M3、所述第四腔镜M4、所述第五腔镜M5和所述第六腔镜M6构成第二激光谐振腔； 所述第一非线性光学晶体O1设置在所述第五腔镜M5和所述第六腔镜M6之间，将所述第一激光谐振腔产生的526nm的激光倍频成263nm的倍频激光； 所述第二非线性光学晶体O2设置在所述第四腔镜M4和所述第五腔镜M5之间，将所述第二激光谐振腔产生的725nm基频激光与所述第一非线性光学晶体O1产生的263nm倍频激光进行和频，产生193nm±2nm的真空紫外激光，并经所述第四腔镜M4输出。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人有维光电(山东)有限公司，其通讯地址为：250004 山东省济南市章丘区官庄街道华民路517号中小企业转型发展示范园19车间2楼南侧；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。