安徽工程大学倪天明获国家专利权
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龙图腾网获悉安徽工程大学申请的专利一种低测试逃逸率的晶圆接受测试方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120015644B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-01发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510140944.7，技术领域涉及：H01L21/66；该发明授权一种低测试逃逸率的晶圆接受测试方法是由倪天明;芮旺胜;聂牧;卞景昌;彭青松;卓成;李渝设计研发完成，并于2025-02-08向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种低测试逃逸率的晶圆接受测试方法在说明书摘要公布了：本发明公开一种低测试逃逸率的晶圆接受测试方法，该方法具体如下：1从WAT电气参数中找出当前批次中对测试逃逸率影响大的关键WAT电气参数；2在对当前批次的测试晶圆进行晶圆接受测试时，测试待测晶圆上各晶粒的关键WAT电气参数，基于关键WAT电气参数进行异常晶粒的检测。先评估WAT电气参数特征对逃逸率的重要性，进位确定对逃逸率影响较大的关键WAT电气参数，对当前批次的待测晶圆仅测试关键WAT电气参数，不影响晶圆检测的逃逸率的同时，极大的降低待测晶圆的检测任务量。
本发明授权一种低测试逃逸率的晶圆接受测试方法在权利要求书中公布了：1.一种低测试逃逸率的晶圆接受测试方法，其特征在于，所述方法具体如下： 1从WAT电气参数中找出当前批次中对测试逃逸率影响大的关键WAT电气参数； 2在对当前批次的测试晶圆进行晶圆接受测试时，测试待测晶圆上各晶粒的关键WAT电气参数，基于关键WAT电气参数进行异常晶粒的检测； 关键WAT电气参数的获取过程具体如下： 11测试当前批次的多个待测晶圆的WAT电气参数，识别异常检测点； 12确定正常检测点中的逃逸检测点，基于异常检测点及逃逸检测点中的异常WAT电气参数确定对逃逸影响大的关键WAT电气参数； 逃逸检测点的识别过程具体如下： 121基于动态部分平均测试、四分位间距检测检测正常检测点中的逃逸检测点； 122计算当前各个逃逸检点的异常程度，基于异常程度确定逃逸检测点影响的邻域范围，测试邻域范围内检测点的WAT电气参数，并基于步骤121再次进行逃逸检测点的检测。
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