金动力智能科技(深圳)有限公司夏欢获国家专利权
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龙图腾网获悉金动力智能科技(深圳)有限公司申请的专利一种固晶机获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119694955B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-01发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510206601.6,技术领域涉及:H01L21/67;该发明授权一种固晶机是由夏欢;张勇设计研发完成,并于2025-02-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种固晶机在说明书摘要公布了:本发明涉及一种固晶机,包括机架、上料模组、点胶模组、固晶模组、供料模组、下料模组、输送模组和控制器。控制器被配置为:当压力控制件获取的实时压力值超过预设压力阀值时,控制移动组件和吸附头停止移动;当检测部件获取的吸附头上晶圆位置超过第一预设位置范围时,控制调整部件驱动吸附头旋转以调整晶圆的位置。由于设置调整部件和检测部件,若发现晶圆的位置产生偏差,则控制器控制调整部件调整晶圆的角度位置使其摆正。此外,由于设置移动组件和压力控制件,通过压力控制件控制吸附头的压力大小,当吸附头对晶圆的按压力超过预设压力阀值的时候,控制器会控制移动组件和吸附头停止移动,避免压力过大导致晶圆表面破损或者碎裂的问题。
本发明授权一种固晶机在权利要求书中公布了:1.一种固晶机,其特征在于,包括: 机架,包括依次设置的上料位、点胶位、固晶位以及下料位; 上料模组,设置于所述上料位以对基板进行上料; 点胶模组,设置于所述点胶位以对所述基板进行点胶; 固晶模组,所述固晶模组包括拾取组件、校正组件和移动组件,所述移动组件设置于所述固晶位,所述拾取组件和校正组件均安装于所述移动组件上,所述拾取组件包括吸附头和压力控制件,所述校正组件包括检测部件和调整部件,所述检测部件设置在所述固晶位旁侧,所述调整部件与所述吸附头传动连接; 供料模组,设置于所述机架上以提供晶圆; 下料模组,设置于所述下料位以对成品进行下料; 输送模组,设置于所述机架上以将所述基板依次移送至上料位、点胶位、固晶位和下料位; 控制器,分别与所述移动组件、压力控制件、检测部件和调整部件电连接,所述控制器被配置为:当所述压力控制件获取的实时压力值超过预设压力阀值时,控制所述移动组件和吸附头停止移动;当所述检测部件获取的所述吸附头上晶圆位置超过第一预设位置范围时,控制所述调整部件驱动所述吸附头旋转以调整晶圆的位置; 所述拾取组件还包括安装架、上柔性件、下柔性件和第一弹性件,所述上柔性件、所述下柔性件和所述压力控制件均与所述安装架连接,所述吸附头一端与所述上柔性件连接,另一端与所述下柔性件连接,所述上柔性件和所述下柔性件被配置为:允许所述吸附头在Z轴方向上产生偏移,所述第一弹性件设置于所述上柔性件和所述安装架之间。
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