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龙图腾网获悉西北电子装备技术研究所(中国电子科技集团公司第二研究所)申请的专利晶圆垫片抽出机构获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119965138B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-01发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510442672.6，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权晶圆垫片抽出机构是由贺俊敏;张红梅;王成君;乔丽;李安华;王玉亮;李文浩;薛志平;王涛;王增琴;张泽义设计研发完成，并于2025-04-10向国家知识产权局提交的专利申请。

本晶圆垫片抽出机构在说明书摘要公布了：本发明涉及晶圆键合技术领域，具体涉及一种晶圆垫片抽出机构，主要解决现有技术中缺乏既能满足空间需要又能避让机械手的抽出机构的技术问题。本机构包括固定框、活动块、升降驱动件、摆动驱动件、伸缩弹簧和执行杆组，通过升降驱动件带动按压杆升降能够为拨块提供竖直方向的按压动力，从而实现垫片的抽出，通过摆动驱动件能够带动活动块绕支撑杆的轴线转动，从而使得执行杆组倾斜，进而使得按压杆脱离晶圆键合卡盘的拨块上方，然后配合升降驱动件能够带动执行杆组下移至脱离晶圆键合卡盘所在区域，最终实现对机械手取放工作的避让。本机构能够满足安装空间需要，也能够实现对机械手取放动作的避让，设计巧妙，具有较好的应用前景。

本发明授权晶圆垫片抽出机构在权利要求书中公布了：1.一种晶圆垫片抽出机构，其特征在于，包括： 固定框（1），其侧壁开设有沿竖直方向布置的条形孔（11），所述固定框（1）的顶部开设有通孔（12）； 活动块（2），其置于所述固定框（1）内且连接有支撑杆（21），所述支撑杆（21）间隙贯穿所述条形孔（11）且外伸于所述固定框（1）形成外伸端（22），所述活动块（2）能绕所述支撑杆（21）的轴线转动； 升降驱动件（3），其输出端与所述外伸端（22）连接； 摆动驱动件（4），其安装在所述升降驱动件（3）的输出端上，所述摆动驱动件（4）的输出端抵接所述活动块（2），所述摆动驱动件（4）的输出端用以输出竖直升降运动以带动所述活动块（2）绕所述支撑杆（21）的轴线转动； 伸缩弹簧（5），其一端连接在所述活动块（2）上且另一端相对所述摆动驱动件（4）的固定部固定，所述伸缩弹簧（5）用以使所述活动块（2）与所述摆动驱动件（4）的输出端保持接触； 执行杆组（6），其包括连接杆（61），所述连接杆（61）的下端固定在所述活动块（2）上，所述连接杆（61）贯穿通孔（12）且顶端安装有与所述连接杆（61）垂直的按压杆（62），所述连接杆（61）与通孔（12）之间留有空隙以避让所述连接杆（61）的摆动。

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