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龙图腾网获悉长春长光辰星科技有限公司申请的专利基于多传感器融合的晶圆探针台实时误差补偿控制系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120010384B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-01发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510472934.3，技术领域涉及：G05B19/404；该发明授权基于多传感器融合的晶圆探针台实时误差补偿控制系统是由戴芳涛;范占军;刘鹏;解明;王金权;马晨晨设计研发完成，并于2025-04-16向国家知识产权局提交的专利申请。

本基于多传感器融合的晶圆探针台实时误差补偿控制系统在说明书摘要公布了：本发明涉及半导体制造设备技术领域，具体而言，涉及一种基于多传感器融合的晶圆探针台实时误差补偿控制系统，包括探针位移检测模块、映射关系表构建模块、偏差比对模块、偏差补偿获取模块、探针台校正模块、管理数据库，本系统基于各探针在各时间点的实际位置坐标，构建探针之间的映射关系，通过同预设的理想坐标进行比对，计算各探针各时间点位置偏差向量在各轴上的分量，进而构建线性回归模型，结合探针之间的映射关系计算探针最终的偏差补偿向量，通过设置限制条件，结合偏差补偿向量生成控制指令，对探针台的运动进行动态校正，保证探针在工作过程中始终保持较高的位置精度，提高了整体工作的质量和效率。

本发明授权基于多传感器融合的晶圆探针台实时误差补偿控制系统在权利要求书中公布了：1.一种基于多传感器融合的晶圆探针台实时误差补偿控制系统，其特征在于，该系统具体包括以下模块： 探针位移检测模块，构建全局坐标系，获取各探针在各时间点的实际位置坐标； 映射关系表构建模块，基于所述各探针在各时间点的实际位置坐标，构建探针之间的映射关系； 偏差比对模块，将所述各探针在各时间点的实际位置坐标与预设的理想坐标进行比对，计算各探针各时间点位置偏差向量在各轴上的分量； 偏差补偿获取模块，根据各探针各时间点位置偏差向量在各轴上的分量构建线性回归模型，结合探针之间的映射关系计算探针最终的偏差补偿向量； 对各探针各坐标轴方向的预测位置偏差取相反值得到各探针各坐标轴方向的补偿向量，组合所述各探针各坐标轴方向的补偿向量，得到各探针初步的偏差补偿向量； 对于具有基于位置邻近性映射关系且预测位置偏差在设定范围内的探针，以预测位置偏差的探针为参考探针，以参考探针的坐标为基准，计算其他探针实际坐标与参考坐标在各轴方向上的差值的相反数，作为该探针在对应轴上的补充补偿向量分量； 将补充补偿向量分量与初步偏差补偿向量对应轴上的分量进行加权求和，得到该探针在对应轴上最终的补偿向量分量，从而得到探针最终的偏差补偿向量； 对于具有基于运动相关性映射关系的探针组，监测各探针预测位置偏差变化情况，筛选偏差变化大于设定阈值的探针，以预测位置偏差变化小于或等于设定阈值的各探针为参考探针组，计算参考探针组在各坐标轴上偏差向量的平均值，计算偏差变化大于设定阈值的探针与参考探针组在各坐标轴上平均偏差的差值，以此确定调整向量，将所述调整向量与初步偏差补偿向量进行加权计算，得到探针最终的偏差补偿向量； 探针台校正模块，设置限制条件，结合偏差补偿向量生成控制指令，对探针台的运动进行动态校正； 管理数据库，存储各探针在各时间点的实际位置坐标数据、预设的理想坐标数据、构建的映射关系表以及线性回归模型的参数估计值。

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