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龙图腾网获悉长春长光智欧科技有限公司申请的专利一种晶圆检测无热化物镜及方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120028928B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-01发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510502281.9，技术领域涉及：G02B7/02；该发明授权一种晶圆检测无热化物镜及方法是由谢晓麟;刘盼;王宁;宋振强;李典策;姚远;周中书;李立军;张铠设计研发完成，并于2025-04-22向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种晶圆检测无热化物镜及方法在说明书摘要公布了：本发明提供了一种晶圆检测无热化物镜及方法，涉及半导体检测技术领域，物镜包括热容差镜组、变焦镜组、镜筒、散热器、径向柔性单元、轴向柔性单元、记忆金属环和楔形块，通过引入记忆金属环被动控制，实现了被动热控结构简单与主动控制的大行程调焦优势，通过热容差镜组中径向柔性单元和轴向柔性单元的设置，能够有效减少第一光学透镜的热变形，使物镜在较大温度范围内均能保证成像质量，通过散热器实现物镜对内部温度的向外传导，以及对外部温度隔绝的效果，降低温度变化对物镜焦距的影响，并实现高精度的成像质量，解决了现有的被动式无热化方案精度有限，主动式无热化方案系统复杂、成本高的问题。

本发明授权一种晶圆检测无热化物镜及方法在权利要求书中公布了：1.一种晶圆检测无热化物镜，包括：光学透镜组（1）和散热外镜壳，其特征在于，所述光学透镜组（1）设置在散热外镜壳中，光学透镜组（1）包括从下至上依次设置的热容差镜组（1-1）和变焦镜组（1-2），散热外镜壳包括从内至外依次设置的镜筒（4）和散热器（5），热容差镜组（1-1）包括从外至内依次设置的第一镜座（1-1-1）、第二镜座（1-1-2）和第三镜座（1-1-3），第一镜座（1-1-1）和第二镜座（1-1-2）之间均匀分布有多个径向柔性单元（1-1-5），第二镜座（1-1-2）和第三镜座（1-1-3）之间均匀分布有多个轴向柔性单元（1-1-6），第一镜座（1-1-1）与镜筒（4）的内壁连接，第三镜座（1-1-3）上设置有第一光学透镜（6），变焦镜组（1-2）包括从外至内依次设置的连接镜座（1-2-1）、限位镜座（1-2-2）和变焦镜座（1-2-3），连接镜座（1-2-1）与镜筒（4）的内壁连接，限位镜座（1-2-2）上滑动设置有多个楔形块（1-2-5），楔形块（1-2-5）上贯穿连接有记忆金属环（1-2-4），楔形块（1-2-5）与变焦镜座（1-2-3）滑动连接，变焦镜座（1-2-3）上设置有第二光学透镜（7）； 所述晶圆检测无热化物镜还包括复位弹簧（1-2-6），限位镜座（1-2-2）上开设有与复位弹簧（1-2-6）对应的限位槽（1-2-2-1），变焦镜座（1-2-3）上设置有限位环（1-2-3-2），复位弹簧（1-2-6）的一端设置在限位槽（1-2-2-1）内，复位弹簧（1-2-6）的另一端设置在限位环（1-2-3-2）上。

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