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龙图腾网获悉杭氧集团股份有限公司申请的专利一种CVD气氛用稀有气体He的回收装置及方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120037751B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-01发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510519920.2，技术领域涉及：B01D53/04；该发明授权一种CVD气氛用稀有气体He的回收装置及方法是由李冬锋;邓波;夏雨涵;沈昕悦;盛文龙;韩小磊;张成雄;姜文瀚;朱程浩;袁士豪;吴秀杰设计研发完成，并于2025-04-24向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种CVD气氛用稀有气体He的回收装置及方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种CVD气氛用稀有气体He的回收装置及方法，涉及的稀有气体回收领域，其中CVD气氛用稀有气体He的回收装置包括依次连接的碱性干燥装置、一级过滤装置、氦气回收膜组、微量杂质脱除装置以及精密过滤装置，碱性干燥装置与CVD反应器的废气出口相连，一级过滤装置用于对废气初步过滤脱除颗粒粉尘，精密过滤装置出口与氦气回收膜组相连，以使精密过滤装置得到的高纯氦气循环净化，本申请提供的CVD气氛用稀有气体He的回收装置及方法，实现了对CVD气氛中稀有气体He的高效回收与净化。本申请循环净化的设计不仅提高了氦气的回收率，还有效降低了因一次性处理导致的产品损失，从而减少了资源的浪费。

本发明授权一种CVD气氛用稀有气体He的回收装置及方法在权利要求书中公布了：1.一种CVD气氛用稀有气体He的回收装置，其特征在于，包括依次连接的碱性干燥装置（8）、一级过滤装置（9）、氦气回收膜组、微量杂质脱除装置（15）以及精密过滤装置（16），所述碱性干燥装置（8）与CVD反应器（2）的废气出口相连，所述一级过滤装置（9）用于对所述CVD反应器（2）产生的废气初步过滤脱除颗粒粉尘，所述精密过滤装置（16）出口与所述氦气回收膜组相连，以使所述精密过滤装置（16）得到的高纯氦气循环净化； 所述氦气回收膜组包括串联设置的第一渗透膜（22）、第二渗透膜（27）以及杂质吸附组件（14），所述第一渗透膜（22）的进口与所述一级过滤装置（9）的出口相连，所述第一渗透膜（22）的出口与所述第二渗透膜（27）的进口相连，所述杂质吸附组件（14）的出口与所述微量杂质脱除装置（15）的进口相连； 所述杂质吸附组件（14）与所述一级过滤装置（9）之间设置有第一换热器（18），所述第一换热器（18）的一个原料气出口与所述第一渗透膜（22）的进口相连，所述第二渗透膜（27）的出口通过所述第一换热器（18）与所述杂质吸附组件（14）的进口相连； 所述第一换热器（18）的另一原料气出口与所述杂质吸附组件（14）的进口连接，所述杂质吸附组件（14）的另一出口与所述第一渗透膜（22）的进口相连； 所述第二渗透膜（27）的另一出口与所述第一渗透膜（22）的进口之间设置有回流管道，所述第一渗透膜（22）与所述第二渗透膜（27）的串联管道上设置有与所述第二渗透膜（27）并联的第一直流管道； 所述微量杂质脱除装置（15）包括依次串联的监测装置（39）、脱氢装置（43）以及氧气吸附装置，所述脱氢装置（43）的进口与所述氦气回收膜组的出口相连，所述监测装置（39）设置于所述脱氢装置（43）与所述氦气回收膜组之间，所述监测装置（39）用于监测气体内各组分含量，所述脱氢装置（43）并联有第二直流管道以使气体直接进入氧气吸附装置。

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