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苏州尊恒半导体科技有限公司孙彩霞获国家专利权

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龙图腾网获悉苏州尊恒半导体科技有限公司申请的专利一种适用于垂直连续电镀设备快速压合密封的挂具获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120119310B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-01发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510607570.5,技术领域涉及:C25D17/06;该发明授权一种适用于垂直连续电镀设备快速压合密封的挂具是由孙彩霞;肖锦成;龚义设计研发完成,并于2025-05-13向国家知识产权局提交的专利申请。

一种适用于垂直连续电镀设备快速压合密封的挂具在说明书摘要公布了:本发明涉及电镀设备技术领域,公开了一种适用于垂直连续电镀设备快速压合密封的挂具,该装置包括挂具主体、晶圆主体和密封板,所述挂具主体的一侧固定安装有导电片和导线,所述挂具主体的内部中间开设有安装槽,还包括:所述安装槽的内部卡合连接有齿环,所述齿环的内侧设置有密封结构,所述密封板靠近挂具主体的一侧设置有压紧结构;所述密封结构包括调节单元和抵紧单元,所述调节单元包括滑动安装在齿环内部的弧形条,所述抵紧单元包括抵紧槽和斜块,解决了在进行密封背板的固定时,仍需要多点位的定位和解锁,在垂直连续电镀设备使用时,不便于快速对密封背板安装和拆卸,降低了使用连续性和生产效率的问题。

本发明授权一种适用于垂直连续电镀设备快速压合密封的挂具在权利要求书中公布了:1.一种适用于垂直连续电镀设备快速压合密封的挂具,包括挂具主体(1)、晶圆主体(6)和密封板(8),所述挂具主体(1)的一侧固定安装有导电片(2)和导线(3),所述挂具主体(1)的内部中间开设有安装槽(4); 其特征在于,还包括: 所述安装槽(4)的内部卡合连接有齿环(5),所述齿环(5)的内侧设置有密封结构(7),所述密封板(8)靠近挂具主体(1)的一侧设置有压紧结构(9),所述密封板(8)远离挂具主体(1)的一侧安装有压板(10); 所述密封结构(7)包括调节单元和抵紧单元,所述调节单元包括滑动安装在齿环(5)内部的弧形条(73),所述弧形条(73)的一侧固定连接有滑条(74)和推块(76),所述弧形条(73)的另一侧固定连接有滑动柱(77),所述滑动柱(77)与齿环(5)滑动安装; 所述齿环(5)的内部对称开设有弧形槽(71),所述弧形槽(71)的内部固定安装有固定圈(72),所述弧形条(73)与弧形槽(71)滑动连接,所述滑条(74)与固定圈(72)滑动连接,所述滑条(74)的外侧套接有弹簧一(75),所述弹簧一(75)的一端与弧形条(73)固定连接,所述弹簧一(75)的另一端与固定圈(72)固定连接; 所述抵紧单元包括抵紧槽(78)和斜块(79),所述斜块(79)与抵紧槽(78)滑动连接,所述斜块(79)的斜面与推块(76)相抵接,所述斜块(79)的一端固定安装有抵紧块(711),所述抵紧块(711)位于齿环(5)的内侧,所述齿环(5)的内部还安装有密封垫(714); 所述弧形槽(71)不少于三个,所述固定圈(72)和弧形条(73)的数量与弧形槽(71)相同,所述弧形槽(71)与抵紧槽(78)相连通,所述抵紧槽(78)的内壁对称固定安装有弹簧二(710),所述弹簧二(710)远离抵紧槽(78)内壁的一端与斜块(79)固定连接; 所述抵紧块(711)的内部滑动安装有固定螺栓(712),所述固定螺栓(712)与斜块(79)螺纹连接,所述齿环(5)靠近密封板(8)的一侧对称开设有限位槽(713),所述限位槽(713)的数量与弧形槽(71)相同,所述滑动柱(77)与限位槽(713)滑动连接,密封垫(714)与齿环(5)的内侧贴合。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人苏州尊恒半导体科技有限公司,其通讯地址为:215000 江苏省苏州市昆山市玉山镇新城南路515号8号房;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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