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深圳市金凯博自动化测试有限公司黎佩锋获国家专利权

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龙图腾网获悉深圳市金凯博自动化测试有限公司申请的专利基于应力叠加的半导体器件加速可靠性测试方法及装置获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120177984B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-01发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510646051.X,技术领域涉及:G01R31/26;该发明授权基于应力叠加的半导体器件加速可靠性测试方法及装置是由黎佩锋;田求发;何永志;梁柱;黄平设计研发完成,并于2025-05-20向国家知识产权局提交的专利申请。

基于应力叠加的半导体器件加速可靠性测试方法及装置在说明书摘要公布了:基于应力叠加的半导体器件加速可靠性测试方法及装置,涉及功率半导体器件测试技术领域,获取当前实际应用场景下不同失效类型的各个关键应力因素的加速因子、各个关键应力因素之间的交互作用系数,获取各个失效类型的最佳应力因素叠加顺序,构建各个失效类型的测试内容流程序列;根据各失效类型的测试内容流程序列对当前类型功率半导体器件进行测试,获取性能指标;构建失效数据库,根据性能指标构建特征矩阵向量存储至失效数据库中;对失效数据库中各个特征矩阵向量进行统计分析,获取各个特征矩阵相关联的可靠性等级,根据失效数据库对性能指标进行可靠性评估,获取当前类型功率半导体器件的可靠性等级,显著提高测试效率和测试结果的准确性。

本发明授权基于应力叠加的半导体器件加速可靠性测试方法及装置在权利要求书中公布了:1.基于应力叠加的半导体器件加速可靠性测试方法,其特征在于,包括以下步骤: 步骤s1:获取当前类型功率半导体器件的实际应用场景、设计参数和性能指标,根据实际应用场景获取当前类型功率半导体器件的关键应力因素,设置若干项关键应力测试内容; 步骤s2:获取当前实际应用场景下不同失效类型的各个关键应力因素的加速因子、各个关键应力因素之间的交互作用系数,基于加速因子和交互作用系数获取各个失效类型的最佳应力因素叠加顺序,构建各个失效类型的测试内容流程序列,包括: 获取应力-失效类型矩阵,对应力-失效类型矩阵包括的各个关键应力因素对应的失效类型进行匹配,若存在不同关键应力因素对应的失效类型一致,根据实际应用场景获取当前类型功率半导体器件的不同关键应力因素的变化范围和典型值; 根据不同关键应力因素的变化范围和其他应力因素的典型值,对当前类型功率半导体器件进行多应力加速寿命测试,获取不同关键应力因素组合下的实测加速因子; 根据不同关键应力因素的变化范围和其他应力因素的典型值,对当前类型功率半导体器件进行不同关键应力因素的单应力加速寿命测试,获取不同关键应力因素的加速因子; 根据不同关键应力因素的加速因子以及不同关键应力因素组合的实测加速因子,获取不同关键应力因素之间的交互作用系数; 根据失效类型的各个关键应力因素的加速因子与各个关键应力因素之间的交互作用系数构建目标函数,确定约束条件,预设若干应力因素叠加顺序,对若干应力因素叠加顺序进行染色体编码,生成初始种群,根据目标函数构建关于应力因素叠加顺序的适应度函数; 基于初始种群、适应度函数和约束条件通过改进遗传算法获取失效类型的最佳应力因素叠加顺序; 根据失效类型的最佳应力因素叠加顺序,获取各项关键应力测试内容之间的测试顺序,根据测试顺序将各项关键应力测试内容进行连接,生成失效类型的测试内容流程序列; 其中,约束条件包括失效机理约束、时间约束和物理约束; 目标函数的具体公式为: ; ; 其中,表示总加速因子,为间隔时间,为恢复常数,表示允许的残余应力比例,为第k个应力单独作用时的加速因子,为第i个和第j个应力之间的交互作用系数,i和j代表不同的关键应力因素,i,j=1,2,...,n,且i<j,n代表关键应力因素的总数; 步骤s3:根据各失效类型的测试内容流程序列对当前类型功率半导体器件进行测试,获取性能指标,对性能指标进行判定,根据判定结果将性能指标反馈至失效数据库或对性能指标进行可靠性评估; 步骤s4:构建失效数据库,根据性能指标构建特征矩阵向量存储至失效数据库中,所述特征矩阵向量与实际应用场景、设计参数、失效类型和应力因素组合相关联; 步骤s5:对失效数据库中各个特征矩阵向量进行统计分析,获取各个特征矩阵向量相关联的可靠性等级,根据失效数据库对性能指标进行可靠性评估,获取当前类型功率半导体器件的可靠性等级。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人深圳市金凯博自动化测试有限公司,其通讯地址为:518112 广东省深圳市龙岗区吉华街道甘坑社区布澜路137号赛兔数码工业厂区厂房1栋1A、3A和2栋1楼;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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