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无锡学院;无锡亮源激光技术有限公司李红旭获国家专利权

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龙图腾网获悉无锡学院;无锡亮源激光技术有限公司申请的专利基于多核注意力融合与动态大核跳跃的晶圆缺陷检测方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120182269B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-01发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510655963.3,技术领域涉及:G06T7/00;该发明授权基于多核注意力融合与动态大核跳跃的晶圆缺陷检测方法是由李红旭;任杰;吴腾;苑欣晁;张永宏;冯小明;王兴辉;迟荣华;李世雨设计研发完成,并于2025-05-21向国家知识产权局提交的专利申请。

基于多核注意力融合与动态大核跳跃的晶圆缺陷检测方法在说明书摘要公布了:本发明公开了基于多核注意力融合与动态大核跳跃的晶圆缺陷检测方法,属于半导体制造技术领域。该方法主要包括图像预处理、特征提取部分、缺陷分割部分以及缺陷分类部分,融合了动态注意力大核跳跃连接卷积及多核通道分割注意力感知融合的优势,旨在以更少的计算资源实现高效的晶圆缺陷检测;通过多核通道分割注意力感知融合,对不同尺度和位置的特征进行深度挖掘与融合,增强了模型对复杂缺陷模式的感知能力;在保证检测精度的同时,大幅降低了计算成本,从而提高了晶圆缺陷检测的效率与稳定性。

本发明授权基于多核注意力融合与动态大核跳跃的晶圆缺陷检测方法在权利要求书中公布了:1.基于多核注意力融合与动态大核跳跃的晶圆缺陷检测方法,其特征在于,包括以下步骤: 获取待检测晶圆图像,并进行图像预处理; 将预处理后的图像输入至第一MKCS-SE模块进行特征提取,然后将提取的特征图进行最大池化处理后,得到第一特征图; 将第一特征图输入至第二MKCS-SE模块进行特征提取,然后将提取的特征图进行最大池化处理后,得到第二特征图; 将第二特征图输入至第三MKCS-SE模块进行特征提取,然后将提取的特征图进行最大池化处理后,得到第三特征图; 将第三特征图输入至第四MKCS-SE模块进行特征提取,然后将提取的特征图进行平均池化处理后,得到第四特征图; 将第四特征图输入至第五MKCS-SE模块进行特征提取,然后将提取的特征图进行平均池化处理后,得到第五特征图; 将第一特征图至第四特征图分别输入至DALKConv-SC模块,得到四个大小不同的特征图,分别记为第六特征图、第七特征图、第八特征图和第九特征图; 利用第五特征图至第九特征图进行融合解码,得到缺陷分割结果; 将第五特征图依次输入至全局平均池化层和激活函数层,得到缺陷分类结果。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人无锡学院;无锡亮源激光技术有限公司,其通讯地址为:214105 江苏省无锡市锡山区锡山大道333号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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