深圳菲比特光电科技有限公司徐周获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳菲比特光电科技有限公司申请的专利基于图像处理的光学膜检测方法、装置及设备获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120219382B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-08-01发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510686709.X,技术领域涉及:G06T7/00;该发明授权基于图像处理的光学膜检测方法、装置及设备是由徐周;洪金木设计研发完成,并于2025-05-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本基于图像处理的光学膜检测方法、装置及设备在说明书摘要公布了:本发明涉及一种基于图像处理的光学膜检测方法、装置及设备。该方法:采集多层光学膜在不同光照条件下的多帧图像,并对多帧图像进行预处理和特征值计算,得到特征值响应矩阵;根据特征值响应矩阵计算各帧图像的最优权重系数,并进行多帧图像特征融合,得到集成特征表示;对集成特征表示进行多尺度缺陷特征提取,得到缺陷候选区域;基于缺陷候选区域提取光谱响应特征,并将光谱响应特征与预设的波长‑膜厚映射关系矩阵进行匹配度计算,得到多层膜缺陷分布图;对多层膜缺陷分布图进行自回归预测和加工控制参数优化,得到闭环控制方案。本发明实现了不同膜层缺陷的精确识别与分类,进而实现了缺陷检测结果与制造参数优化的闭环控制。
本发明授权基于图像处理的光学膜检测方法、装置及设备在权利要求书中公布了:1.一种基于图像处理的光学膜检测方法,其特征在于,包括以下步骤: 采集多层光学膜在不同光照条件下的多帧图像,并对所述多帧图像进行预处理和特征值计算,得到特征值响应矩阵; 根据所述特征值响应矩阵计算各帧图像的最优权重系数,并基于所述最优权重系数进行多帧图像特征融合,得到集成特征表示; 对所述集成特征表示进行多尺度缺陷特征提取,得到缺陷候选区域; 基于所述缺陷候选区域提取光谱响应特征,并将所述光谱响应特征与预设的波长-膜厚映射关系矩阵进行匹配度计算,得到多层膜缺陷分布图;具体包括:对多层光学膜结构执行光学建模分析,构建包含反射率、透射率和吸收率在内的波长-膜厚映射关系矩阵,所述映射关系矩阵将各层膜厚与不同入射角度和波长的光学响应关联;对所述缺陷候选区域应用局部区域傅里叶变换和小波分解,从多尺度频域分析中提取缺陷区域在不同光照条件下的频谱特征和相位信息,生成多维光谱响应特征向量;对所述多维光谱响应特征向量进行非线性降维和特征优化,形成判别性光谱指纹特征;将所述判别性光谱指纹特征输入核函数映射器,对所述核函数映射器输出的特征空间表示计算与波长-膜厚映射关系矩阵的马氏距离,构建层级化匹配度量值;基于所述层级化匹配度量值建立决策模型,对所述决策模型引入贝叶斯先验约束和空间一致性正则项,生成具有最大后验概率的膜层归属标签;将所述膜层归属标签与缺陷形态学特征融合处理,通过条件随机场模型进行上下文优化,生成多层膜缺陷分布图; 对所述多层膜缺陷分布图进行自回归预测和加工控制参数优化,得到闭环控制方案。
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