玛特森技术公司;北京屹唐半导体科技股份有限公司马库斯·利贝雷尔获国家专利权
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龙图腾网获悉玛特森技术公司;北京屹唐半导体科技股份有限公司申请的专利用于毫秒退火系统的温度测量系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114068368B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-29发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111475512.X，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权用于毫秒退火系统的温度测量系统是由马库斯·利贝雷尔;克里斯蒂安·普法勒;马库斯·哈格多恩;迈克尔·瓦纳贝马;亚历山大·科斯塞夫设计研发完成，并于2016-12-13向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于毫秒退火系统的温度测量系统在说明书摘要公布了：提供用于毫秒退火系统的温度测量系统。在一个示例性实施方式中，系统可以包括：远红外温度传感器，其被配置成获得在小于约450℃的处理温度下的毫秒退火系统中的衬底的一个或更多个温度测量值，毫秒退火系统包括具有晶片平板的处理室，晶片平板将处理室分成顶部室和底部室；处理电路，其被配置成对来自温度传感器的测量值进行处理以确定在小于约450℃的温度的衬底的温度。
本发明授权用于毫秒退火系统的温度测量系统在权利要求书中公布了：1.一种用于毫秒退火系统的温度测量系统，所述温度测量系统包括： 第一远红外温度传感器，其被配置成获得在小于450℃的处理温度下的毫秒退火系统中的衬底的一个或更多个温度测量值，所述毫秒退火系统包括具有晶片平板的处理室，所述晶片平板将所述处理室分成顶部室和底部室，其中所述第一远红外温度传感器包括与8μm至14μm的光谱范围相关联的高温计，所述高温计被配置为获得在低于450℃的温度下的衬底的温度测量值； 第二远红外温度传感器，其被配置成获得在小于450℃的处理温度下的毫秒退火系统中的衬底的一个或更多个温度测量值，其中所述第二远红外温度传感器包括与8μm至14μm的光谱范围相关联的高温计； 诊断闪光和参考温度传感器，其中来自所述参考温度传感器的测量值能够被用作所述第一远红外温度传感器和或所述第二远红外温度传感器的发射率补偿；以及 处理电路，其被配置成对来自所述第一远红外温度传感器、所述第二远红外温度传感器和或所述参考温度传感器的测量值进行处理以确定在小于450℃的温度的所述衬底的温度。
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