北京北方华创微电子装备有限公司黄其伟获国家专利权
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龙图腾网获悉北京北方华创微电子装备有限公司申请的专利静电卡盘及反应腔室获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN111048460B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-29发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：201811183845.3，技术领域涉及：H01L21/683；该发明授权静电卡盘及反应腔室是由黄其伟;史全宇设计研发完成，并于2018-10-11向国家知识产权局提交的专利申请。
本静电卡盘及反应腔室在说明书摘要公布了：本发明提供一种静电卡盘及反应腔室，该静电卡盘包括绝缘层和设置在绝缘层底部的加热体，还包括：冷却结构，设置在加热体的下方，且与加热体间隔设置，冷却结构用于通过冷却液体来将加热体的热量传递出去。本发明提供的静电卡盘，其可以在工艺过程中实现对加热体的稳定控温，从而可以有效减少晶须缺陷，进而可以提高产品良率。
本发明授权静电卡盘及反应腔室在权利要求书中公布了：1.一种静电卡盘，包括绝缘层和设置在所述绝缘层底部的加热体，其特征在于，还包括： 冷却结构，设置在所述加热体的下方，且与所述加热体间隔设置，所述冷却结构用于通过冷却液体来将所述加热体的热量导出； 所述冷却结构包括： 冷却管路，与所述加热体间隔分离设置； 传热板，呈薄壁状，且分别与所述加热体和所述冷却管路连接，用于将所述加热体的热量传递至所述冷却管路； 所述冷却结构还包括法兰，所述法兰与所述加热体的底部连接，且环绕在所述冷却管路的周围； 所述传热板呈环状，且所述传热板的内周壁和外周壁分别与所述冷却管路和所述法兰相接触。
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