株式会社日立高新技术;国立研究开发法人产业技术综合研究所波田野道夫获国家专利权
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龙图腾网获悉株式会社日立高新技术;国立研究开发法人产业技术综合研究所申请的专利试样支架、膜间距离调整机构以及带电粒子束装置获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN114556514B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-29发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:201980101094.2,技术领域涉及:H01J37/20;该发明授权试样支架、膜间距离调整机构以及带电粒子束装置是由波田野道夫;中村光宏;小椋俊彦设计研发完成,并于2019-10-10向国家知识产权局提交的专利申请。
本试样支架、膜间距离调整机构以及带电粒子束装置在说明书摘要公布了:本发明可靠地利用试样支架对液体状或凝胶状的试样进行保持,提高利用带电粒子束装置进行观察的合格率。试样支架101具有:第一部件102,其具有盖部件111和具备形成有包括第一绝缘性薄膜104在内的层叠膜的第一窗口123的第一芯片105;以及第二部件103,其具有形成有第一底部密封面203及第二底部密封面200的母材127、配置于母材的电极108以及第二芯片107,该第二芯片107具备形成有第二绝缘性薄膜106的第二窗口124,且以使第二窗口与电极对置的方式经由第二密封件119保持在第二底部密封面上,第一部件与第二部件组合,第一密封件在第一底部密封面以及盖部件的上部密封面之间被压扁,由此比第一密封件靠内部的区域相对于第一密封件的外部的区域保持为气密。
本发明授权试样支架、膜间距离调整机构以及带电粒子束装置在权利要求书中公布了:1.一种试样支架,是保持液体状或凝胶状的试样的试样支架,其特征在于,具有: 第一部件,其具有盖部件和第一芯片,该盖部件具有开口部,由金属构成或者至少电子束照射面以及上述开口部的侧面由金属膜覆盖,该第一芯片具备形成有导电性薄膜及第一绝缘性薄膜的层叠膜的第一窗口,且以使上述导电性薄膜从上述盖部件的上述开口部露出的方式保持在上述盖部件的与上述电子束照射面对置的面;以及 第二部件,其具有第一密封件、第二密封件、形成有配置上述第一密封件的第一底部密封面以及配置上述第二密封件的第二底部密封面的母材、配置于上述母材的电极、以及第二芯片,该第二芯片具备形成有第二绝缘性薄膜的第二窗口,且以使上述第二窗口与上述电极对置的方式经由上述第二密封件保持在上述第二底部密封面上, 上述第一芯片的上述导电性薄膜与上述盖部件的金属电导通, 上述试样支架具有对置芯片用导向件,该对置芯片用导向件根据将上述第一部件与上述第二部件组合时的上述第一芯片的位置而设于上述母材,或者根据将上述第一部件与上述第二部件组合时的上述第二芯片的位置而设于上述盖部件, 上述第一部件与上述第二部件组合,上述第一密封件在上述第一底部密封面以及上述盖部件的上部密封面之间被压扁,由此比上述第一密封件靠内部的区域相对于上述第一密封件的外部的区域保持为气密。
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