FEI 公司L.图玛获国家专利权
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龙图腾网获悉FEI 公司申请的专利用于检查标本的带电粒子显微镜和确定所述带电粒子显微镜的像差的方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN111243928B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-29发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:201911094754.7,技术领域涉及:H01J37/26;该发明授权用于检查标本的带电粒子显微镜和确定所述带电粒子显微镜的像差的方法是由L.图玛设计研发完成,并于2019-11-11向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于检查标本的带电粒子显微镜和确定所述带电粒子显微镜的像差的方法在说明书摘要公布了:本发明涉及一种确定带电粒子显微镜的像差的方法。所述方法包括提供带电粒子显微镜的步骤,所述带电粒子显微镜至少部分地可由用户操作。然后,用所述带电粒子显微镜获得图像数据集合。处理图像数据以确定所述带电粒子显微镜的像差。根据本发明,所述图像数据集合由用户主动获得。具体地说,所述图像数据可以在显微镜由用户正常操作期间获得,所述正常操作可以包含显微镜导航和或聚焦。因此,图像数据集合由所述用户采集,而不由所述显微镜的控制器采集。这允许后台处理像差和使用所述带电粒子显微镜期间的像差校正。本发明还涉及一种并入所述方法的带电粒子显微镜。
本发明授权用于检查标本的带电粒子显微镜和确定所述带电粒子显微镜的像差的方法在权利要求书中公布了:1.一种确定带电粒子显微镜的像差的方法,所述方法包括以下步骤: 提供带电粒子显微镜,其中所述带电粒子显微镜至少部分地由用户操作; 用所述带电粒子显微镜获得图像数据集合; 处理所述图像数据集合,以确定所述带电粒子显微镜的像差; 其特征在于: 所述图像数据集合由所述用户在专用使用所述带电粒子显微镜期间获得;且 所述处理步骤在所述专用使用期间进行。
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