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株式会社迪思科川合章仁获国家专利权

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龙图腾网获悉株式会社迪思科申请的专利生产系统获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN112117211B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-29发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202010541339.8,技术领域涉及:H01L21/67;该发明授权生产系统是由川合章仁设计研发完成,并于2020-06-15向国家知识产权局提交的专利申请。

生产系统在说明书摘要公布了:提供生产系统,其有效地检测生产工序中的异常。生产系统具有:对被加工物进行第1工序的加工的多个第1装置;对被加工物进行第1工序后的第2工序的加工的第2装置;记录部,其将在从第1工序到第2工序中哪个被加工物由哪个第1装置加工进行记录;以及控制单元,其控制第1装置、第2装置以及记录部。第2装置包含:检查部,其检查被加工物而发现不良;判定部,其判定由哪个第1装置进行了加工的被加工物中不良多;以及通知部,其通知判定部的判定结果。

本发明授权生产系统在权利要求书中公布了:1.一种生产系统,其中, 该生产系统具有: 多个第1装置,它们对被加工物进行相同第1工序的加工; 多个第2装置,它们对被加工物进行第1工序后的相同第2工序的加工; 记录部,其将在从该第1工序到该第2工序中哪个该被加工物由多个第1装置中的哪个该第1装置加工进行记录;以及 控制单元,其控制该第1装置、该第2装置以及该记录部, 该第2装置分别包含: 检查部,其检查被加工物而发现不良; 判定部,其判定由多个第1装置中的哪个该第1装置进行了加工的被加工物中不良多;以及 通知部,其通知该判定部的判定结果。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人株式会社迪思科,其通讯地址为:日本东京都;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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