东京毅力科创株式会社山胁阳平获国家专利权
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龙图腾网获悉东京毅力科创株式会社申请的专利分离装置和分离方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN114080663B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-29发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202080048587.7,技术领域涉及:H01L21/67;该发明授权分离装置和分离方法是由山胁阳平;中野征二;川口义广设计研发完成,并于2020-06-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本分离装置和分离方法在说明书摘要公布了:一种分离装置,将处理对象体分离为第一分离体和第二分离体,所述分离装置具有:第一保持部,其保持所述第一分离体;第二保持部,其保持所述第二分离体;移动部,其使所述第一保持部和所述第二保持部相对地移动;以及分离面清洗部,其至少对所述第一分离体的分离面或所述第二分离体的分离面进行清洗。
本发明授权分离装置和分离方法在权利要求书中公布了:1.一种分离装置,具有: 处理容器,其能够将内部密闭,并且,所述分离装置在该处理容器中将处理对象体分离为第一分离体和第二分离体; 第一保持部,其保持所述第一分离体; 第二保持部,其保持所述第二分离体; 移动部,其使所述第一保持部和所述第二保持部相对地移动; 分离面清洗部,其在所述处理容器内部被配置于被分离后的所述第一分离体和所述第二分离体之间,且配置为通过移动机构沿水平方向移动,所述分离面清洗部至少对所述第一分离体的分离面或所述第二分离体的分离面进行清洗;以及 刷洗部,其在所述处理容器内部对所述第一分离体的分离面和所述第二分离体的分离面进行刷洗。
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