三星显示有限公司李童敏获国家专利权
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龙图腾网获悉三星显示有限公司申请的专利激光退火装置和使用其的薄膜结晶化方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN112397378B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-29发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202010823805.1，技术领域涉及：H01L21/268；该发明授权激光退火装置和使用其的薄膜结晶化方法是由李童敏;金志桓;徐宗吾;苏炳洙设计研发完成，并于2020-08-17向国家知识产权局提交的专利申请。
本激光退火装置和使用其的薄膜结晶化方法在说明书摘要公布了：提供了激光退火装置和使用激光退火装置的薄膜结晶化方法。激光退火装置包括工作台、激光产生器和反射构件。工作台对形成有待处理的薄膜的衬底进行支承，并且以设定或预定的速度在第一方向上移动。激光产生器在工作台移动的期间用激光束照射薄膜的第一区域。反射构件将从薄膜的第一区域被反射的激光束的一部分反射到薄膜的第二区域。第一区域和第二区域彼此间隔开。
本发明授权激光退火装置和使用其的薄膜结晶化方法在权利要求书中公布了：1.一种激光退火装置，包括： 工作台，所述工作台对形成有待处理的薄膜的衬底进行支承，并且以设定速度在第一方向上移动； 激光产生器，所述激光产生器在所述工作台移动的期间用激光束照射所述薄膜的第一区域；以及 反射构件，所述反射构件将从所述薄膜的所述第一区域被反射的所述激光束的一部分反射到所述薄膜的第二区域， 其中，所述第一区域和所述第二区域在与所述第一方向相反的第二方向上彼此间隔开设定距离。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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