微传科技有限公司金亨骏获国家专利权
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龙图腾网获悉微传科技有限公司申请的专利使用垂直腔面发射激光器的基板热处理装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115699283B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-29发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202080101437.8，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权使用垂直腔面发射激光器的基板热处理装置是由金亨骏;金炳局;朴旺濬;金泰衡;李普设计研发完成，并于2020-09-23向国家知识产权局提交的专利申请。
本使用垂直腔面发射激光器的基板热处理装置在说明书摘要公布了：本发明公开一种使用垂直腔面发射激光器VCSEL器件的基板热处理装置，本发明包括：工艺腔，用于放置待热处理的平板基板；以及照射模块，包括器件排列板以及子照射模块，用于向平板基板照射激光束，上述子照射模块放置于器件排列板的上部面，上述子照射模块具有器件区域及端子区域，上述器件区域用于安装垂直腔面发射激光器器件，上述端子区域用于安装电极端子，且位于器件区域的前侧或后侧，在照射模块中，沿着x轴方向分别排列器件区域和端子区域，沿着垂直于x轴方向的y轴方向交替排列器件区域和端子区域。
本发明授权使用垂直腔面发射激光器的基板热处理装置在权利要求书中公布了：1.一种使用垂直腔面发射激光器器件的基板热处理装置，其特征在于， 包括： 工艺腔，用于放置待热处理的平板基板；以及 照射模块，包括器件排列板以及子照射模块，用于向上述平板基板照射激光束，上述子照射模块放置于上述器件排列板的上部面，上述子照射模块具有器件区域及端子区域，上述器件区域用于安装垂直腔面发射激光器器件，上述端子区域用于安装电极端子，且位于上述器件区域的前侧或后侧， 在上述照射模块中，沿着x轴方向分别排列上述器件区域和端子区域，沿着垂直于上述x轴方向的y轴方向交替排列上述器件区域和端子区域， 在上述子照射模块中，上述器件区域呈四边形形状，上述端子区域在上述器件区域的前端另一侧及后端一侧突出形成， 在上述照射模块中，沿着上述x轴方向分别连续排列上述器件区域和端子区域，沿着上述y轴方向交替排列上述器件区域和端子区域， 上述照射模块以使得上述器件区域位于上述平板基板的中心的方式形成。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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