AP系统股份有限公司金戊一获国家专利权
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龙图腾网获悉AP系统股份有限公司申请的专利移转设备及移转方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN112599462B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-29发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202011023766.3,技术领域涉及:H01L21/68;该发明授权移转设备及移转方法是由金戊一;白圣焕;金镐岩;金炯俊设计研发完成,并于2020-09-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本移转设备及移转方法在说明书摘要公布了:本发明提供一种将设置到移转基板的芯片移转到被移转基板的移转设备以及移转方法。所述移转设备包括:第一载台,支撑所述被移转基板;第二载台,支撑所述移转基板,使得所述移转基板面对所述被移转基板并与所述被移转基板间隔开;激光辐照单元,其至少一部分在所述移转基板及所述被移转基板彼此面对的方向上与所述第二载台间隔开,以使激光束辐照到所述移转基板;以及移动单元,支撑所述激光辐照单元,并在使所述激光束辐照的状态下移动所述激光辐照单元。
本发明授权移转设备及移转方法在权利要求书中公布了:1.一种移转设备,所述移转设备将设置到移转基板的芯片移转到被移转基板,所述移转设备包括: 第一载台,被配置成支撑所述被移转基板; 第二载台,被配置成支撑所述移转基板,使得所述移转基板面对所述被移转基板并与所述被移转基板间隔开; 激光辐照单元,其至少一部分在所述移转基板及所述被移转基板彼此面对的方向上与所述第二载台间隔开,以使激光束辐照到所述移转基板,并设置有对齐孔; 移动单元,被配置成支撑所述激光辐照单元,并在使所述激光束辐照的状态下移动所述激光辐照单元; 拍摄单元,被配置成拍摄穿过所述对齐孔的所述激光束的形状及位置,所述形状及所述位置被辐照到所述移转基板及所述被移转基板中的至少一者;以及 对齐单元,与所述拍摄单元连接,以根据穿过所述对齐孔的所述激光束的被辐照的所述形状及所述位置来调整所述移转基板及所述被移转基板中的每一者的对齐状态。
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