默克专利股份有限公司K·科佩获国家专利权
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龙图腾网获悉默克专利股份有限公司申请的专利使用可交联硅氧烷化合物的正型光刻胶配制剂获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN114503031B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-29发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202080070795.7,技术领域涉及:G03F7/075;该发明授权使用可交联硅氧烷化合物的正型光刻胶配制剂是由K·科佩;吉田尚史设计研发完成,并于2020-10-09向国家知识产权局提交的专利申请。
本使用可交联硅氧烷化合物的正型光刻胶配制剂在说明书摘要公布了:本发明涉及包含使用可交联硅氧烷聚合物的正型光刻胶配制剂。用于该正型光刻胶配制剂中的硅氧烷聚合物是可交联的且包含含有至少一个马来酰亚胺基团的第一重复单元及不含有马来酰亚胺基团的第二重复单元。本发明进一步提供使用根据本发明的正型光刻胶配制剂制造微电子结构的方法及包含微电子结构的电子装置,该微电子结构通过该制造方法获得或可获得。
本发明授权使用可交联硅氧烷化合物的正型光刻胶配制剂在权利要求书中公布了:1.一种正型光刻胶配制剂,其包含: a硅氧烷聚合物,其包含第一重复单元及第二重复单元;及 b光活性溶解调节剂; 其中该第一重复单元含有至少一个马来酰亚胺基团;及该第二重复单元不含有马来酰亚胺基团。
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