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弗卢斯索有限公司F·乌德雷亚获国家专利权

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龙图腾网获悉弗卢斯索有限公司申请的专利热流体流传感器获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN114902020B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-29发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202080073313.3,技术领域涉及:G01F1/684;该发明授权热流体流传感器是由F·乌德雷亚;A·德卢卡;C·法尔科;S·Z·艾利;E·加德纳设计研发完成,并于2020-10-21向国家知识产权局提交的专利申请。

热流体流传感器在说明书摘要公布了:我们在本文中公开了一种流和热量传导传感器,包括:半导体衬底,该半导体衬底包括蚀刻部分;介电区域,该介电区域位于半导体衬底上,其中介电区域包括位于半导体衬底的蚀刻部分上方的至少一个介电膜;以及加热元件,该加热元件位于介电膜内。介电膜包括位于加热元件与介电膜的边缘之间的一个或多个间断部。

本发明授权热流体流传感器在权利要求书中公布了:1.一种流和热量传导传感器,包括: 半导体衬底,所述半导体衬底包括蚀刻部分; 介电区域,所述介电区域位于所述半导体衬底上,其中所述介电区域包括位于所述半导体衬底的蚀刻部分上方的至少一个介电膜; 加热元件,所述加热元件位于所述介电膜内;以及 位于所述介电膜内以及所述加热元件的相对侧的一对温度感测元件; 其中,所述介电膜包括在所述加热元件与所述介电膜的边缘之间的至少一个凹槽区域; 位于所述加热元件与所述一对温度感测元件中的第一温度感测元件之间的第一区域;其中该第一区域包括至少一个凹槽区域; 位于所述加热元件与所述一对温度感测元件中的第二温度感测元件之间的第二区域;其中该第二区域包括位于所述加热元件和所述第二温度感测元件之间的、所述介电膜的连续部分;以及 其中,所述至少一个凹槽区域被布置为关于由所述加热元件限定的轴线非对称,从而在所述一对温度感测元件中的所述第一温度感测元件与所述一对温度感测元件中的所述第二温度感测元件之间引入温度差;其中所述一对温度感测元件之间的差分信号被配置为基于流体的导热率确定该流体的性能、组成或浓度。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人弗卢斯索有限公司,其通讯地址为:英国剑桥郡;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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