ASM IP私人控股有限公司卢载旻获国家专利权
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龙图腾网获悉ASM IP私人控股有限公司申请的专利基板处理设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN112951697B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-29发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202011153994.2，技术领域涉及：H01J37/32；该发明授权基板处理设备是由卢载旻;李主日设计研发完成，并于2020-10-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本基板处理设备在说明书摘要公布了：一种基板处理设备，其能够防止在引入不对称排放结构时可能发生的排放流偏转，包括：排放单元，其提供围绕反应空间的排放空间；以及连接到排放单元的排放端口；和流动控制单元，其设置在排放空间中，其中，排放端口相对于反应空间不对称地设置，并且该流动控制单元可以包括：上流动控制板，其包括多个第一通孔；下流动控制板，其设置在上流动控制板的下方并包括多个第二通孔。
本发明授权基板处理设备在权利要求书中公布了：1.一种基板处理设备，包括： 排放单元，提供围绕反应空间的排放空间； 连接到所述排放单元的排放端口；和 布置在所述排放空间中的流动控制单元， 其中所述排放端口相对于所述反应空间不对称地设置，并且 所述流动控制单元包括： 上流动控制板，其包括多个第一通孔；和 下流动控制板，设置在所述上流动控制板的下方，并包括多个第二通孔， 所述上流动控制板包括与所述排放端口相邻的第一区域和与所述排放端口分开的第二区域， 所述多个第一通孔中的所述第一区域的通孔沿着具有第三直径的第三圆周布置，并且 所述多个第一通孔中的所述第二区域的通孔沿着具有大于所述第三直径的第四直径的第四圆周布置。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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