株式会社国际电气半导体技术服务铁山千寻获国家专利权
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龙图腾网获悉株式会社国际电气半导体技术服务申请的专利电阻率测定方法、半导体器件的制造方法、记录介质以及电阻率测定器获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114746990B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-29发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202080083413.4，技术领域涉及：H01L21/66；该发明授权电阻率测定方法、半导体器件的制造方法、记录介质以及电阻率测定器是由铁山千寻设计研发完成，并于2020-12-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本电阻率测定方法、半导体器件的制造方法、记录介质以及电阻率测定器在说明书摘要公布了：提供一种技术，其具备：存储部，其至少存储对被测定物进行测定的制程以及对被测定物进行测定的测定模式；以及以使对被测定物进行测定的方式进行控制的控制部，控制部算出在按照在制程中设定的各测定点的设定顺序进行了测定时的预测时间，并且根据测定模式变更在制程中设定的各测定点的设定顺序，算出在按照该变更后的设定顺序进行了测定时的预测时间，选定分别算出的预测时间中的、预测时间最短的设定顺序，并按照该选定的设定顺序对被测定物进行测定。
本发明授权电阻率测定方法、半导体器件的制造方法、记录介质以及电阻率测定器在权利要求书中公布了：1.一种电阻率测定方法，其包括： 第1算出工序，算出在按照在对被测定物进行测定的制程中设定的各测定点的设定顺序进行了测定时的预测时间； 第2算出工序，根据在使探头移动至所述被测定物的测定位置时将所述探头的水平动作设为最小的第1测定模式以及在使所述探头移动至所述被测定物的测定位置时将所述被测定物的旋转动作设为最小的第2测定模式中的至少一方，变更在所述制程中设定的各测定点的设定顺序，算出在按照该变更后的设定顺序进行了测定时的预测时间； 选定在所述第1算出工序中算出的预测时间、和在所述第2算出工序中根据所述第1测定模式以及所述第2测定模式中的至少一方算出的预测时间中的、预测时间最短的设定顺序的工序；以及 按照该选定的设定顺序对所述被测定物进行测定的工序。
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