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创意电子股份有限公司;台湾积体电路制造股份有限公司廖致傑获国家专利权

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龙图腾网获悉创意电子股份有限公司;台湾积体电路制造股份有限公司申请的专利测试装置及其取件模块获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115083983B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-29发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202110275973.6,技术领域涉及:H01L21/683;该发明授权测试装置及其取件模块是由廖致傑;程志丰;孙育民设计研发完成,并于2021-03-15向国家知识产权局提交的专利申请。

测试装置及其取件模块在说明书摘要公布了:一种测试装置及其取件模块,测试装置包括一测试载台及一取件模块。测试载台包含一测试区与多个端子。这些端子分布于测试区内。取件模块包括一移动手臂、一气道组及一压力缓冲部。移动手臂能够朝测试区的方向移动。压力缓冲部包括一弹性垫体与多个贯穿口。弹性垫体连接至移动手臂的底部。弹性垫体的一平坦面用以接触一半导体元件。贯穿口分布于平坦面上,连接气道组,以供半导体元件被真空吸附于平坦面上。当压力缓冲部将半导体元件下压至这些端子上,半导体元件电连接这些端子。透过以上架构,测试装置能够在将半导体元件被下压时,减缓半导体元件的曲翘发生,以及降低产生龟裂或裂纹的机会,从而使得半导体元件不易受损。

本发明授权测试装置及其取件模块在权利要求书中公布了:1.一种测试装置,其特征在于,包括: 一真空泵设备; 一测试载台,包含一测试区与多个端子,所述多个端子排列于该测试区内;以及 一取件模块,包括: 一移动手臂,用以朝该测试区的方向移动; 一气道组,位于该移动手臂内,分别连接该真空泵设备及该移动手臂的底部;以及 一压力缓冲部,包括一弹性垫体及多个贯穿口,该弹性垫体位于该移动手臂的该底部,该弹性垫体具有一平坦面,该平坦面用以接触一半导体元件,所述多个贯穿口分布于该平坦面,且连接该气道组,以供该真空泵设备将该半导体元件真空吸附于该平坦面上,所述多个贯穿口中每一者包含一螺旋内壁,该螺旋内壁依据螺旋方式围绕该贯穿口的轴心, 其中当该压力缓冲部将该半导体元件下压至该测试区内的所述多个端子上,该半导体元件电连接所述多个端子。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人创意电子股份有限公司;台湾积体电路制造股份有限公司,其通讯地址为:中国台湾新竹科学园区力行六路10号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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