广州集成电路技术研究院有限公司许祖荣获国家专利权
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龙图腾网获悉广州集成电路技术研究院有限公司申请的专利一种清洁系统、基板蚀刻装置及清洁方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115513022B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-29发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110696074.3，技术领域涉及：H01J37/32；该发明授权一种清洁系统、基板蚀刻装置及清洁方法是由许祖荣;汪金宝;黄崇哲设计研发完成，并于2021-06-23向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种清洁系统、基板蚀刻装置及清洁方法在说明书摘要公布了：本发明提出了一种清洁系统、基板蚀刻装置及清洁方法。所述清洁系统，包括基体410以及安装在基体410上、用于受环境气压和温度变化影响而膨胀进入填充一需清洁空间，从而粘附该需清洁空间中的污染物的清洁构件420。本发明的清洁系统、基板蚀刻装置及清洁方法设计新颖，实用性强。
本发明授权一种清洁系统、基板蚀刻装置及清洁方法在权利要求书中公布了：1.一种基板蚀刻装置，其特征在于，包括载物台100、围绕在载物台100外部的边缘环300以及直接或间接地安装在载物台100上的清洁系统400； 边缘环300和载物台100之间间隔有间隙；清洁系统400包括直接或间接地安装在载物台100上的基体410；清洁系统400还包括清洁构件420；所述清洁构件420安装在基体410上且朝向所述间隙；所述清洁构件420用于受环境气压和温度变化影响而膨胀填充间隙，从而粘附位于间隙中的残留物500。
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