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龙图腾网获悉北京北方华创微电子装备有限公司申请的专利半导体工艺设备、托盘及片盒获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114005768B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-29发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111276705.2，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权半导体工艺设备、托盘及片盒是由程旭文设计研发完成，并于2021-10-29向国家知识产权局提交的专利申请。

本半导体工艺设备、托盘及片盒在说明书摘要公布了：本申请公开一种半导体工艺设备、托盘及片盒，涉及半导体装备领域。一种半导体工艺设备，包括工艺腔室、传输腔室和装载腔室，装载腔室用于容置片盒，片盒用于承载托盘，传输腔室中设有传输装置，用于在工艺腔室和装载腔室之间传输托盘；装载腔室和传输腔室的交接处设有图像识别装置，图像识别装置用于在传输装置携带托盘移动过程中，识别托盘上预设的特征图像，确定托盘的特征信息；半导体工艺设备还包括控制器，控制器用于获取特征信息，从预设的托盘信息库中查找与特征信息对应的传输参数，控制传输装置根据传输参数传输托盘。一种托盘，应用于半导体工艺设备。一种片盒，用于承载托盘。本申请能够解决传输精度低、耗时耗力等问题。

本发明授权半导体工艺设备、托盘及片盒在权利要求书中公布了：1.一种半导体工艺设备，包括工艺腔室、传输腔室和装载腔室，所述工艺腔室用于执行半导体工艺，所述装载腔室用于容置片盒，所述片盒用于承载托盘，所述传输腔室中设置有传输装置，所述传输装置用于在所述工艺腔室和所述装载腔室之间传输所述托盘，其特征在于， 所述装载腔室和所述传输腔室的交接处设置有图像识别装置，所述图像识别装置用于在所述传输装置携带所述托盘由所述装载腔室向所述传输腔室移动的过程中，识别不同规格的所述托盘上的预设的特征图像，确定所述托盘的特征信息； 所述半导体工艺设备还包括控制器，所述控制器用于获取所述特征信息，从预设的托盘信息库中查找与所述特征信息对应的传输参数，控制所述传输装置根据所述传输参数传输所述托盘； 所述控制器还用于获取所述特征信息，与所述托盘信息库中的预存的特性信息比对，判断所述托盘信息库中是否存有所述特征信息；在所述托盘信息库中存有所述特征信息的情况下，判断所述特征信息与上一次传输的托盘的特征信息是否一致；当所述特征信息与上一次传输的托盘的特征信息一致时，直接采用当前的传输参数传输所述托盘；当所述特征信息与上一次传输的托盘的特征信息不一致时，再从所述托盘信息库中查找与所述特征信息对应的传输参数，控制所述传输装置根据所述传输参数传输所述托盘。

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