北京北方华创微电子装备有限公司黄敏涛获国家专利权
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龙图腾网获悉北京北方华创微电子装备有限公司申请的专利一种半导体热处理设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114300398B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-29发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202111481845.3，技术领域涉及：H01L21/677；该发明授权一种半导体热处理设备是由黄敏涛设计研发完成，并于2021-12-06向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种半导体热处理设备在说明书摘要公布了：一种半导体热处理设备，包括舟传输机构，舟传输机构包括主体支架、沿竖直方向设置于主体支架上的滚珠丝杠、设置于主体支架顶端的张紧装置和一端连接于所述张紧装置的护带；护带的另一端连接于主体支架的底端，且位于滚珠丝杠背离主体支架的侧面，张紧装置用于自动张紧护带使其保持竖直。本发明涉及的半导体热处理设备，通过张紧装置使护带自然拉直，避免因弯曲与运动部件发生剐蹭的可能，避免机台产生颗粒，保证了微环境室内的颗粒洁净等级，提升机台的稳定性。
本发明授权一种半导体热处理设备在权利要求书中公布了：1.一种半导体热处理设备，其特征在于，包括舟传输机构100和工艺门107，所述舟传输机构100包括主体支架101、沿竖直方向设置于所述主体支架101上的滚珠丝杠106、连接座105设置于所述主体支架101顶端的张紧装置2和一端连接于所述张紧装置2的护带1； 所述护带1的另一端连接于所述主体支架101的底端，且位于所述滚珠丝杠106背离所述主体支架101的侧面，所述张紧装置2自动张紧所述护带1使其保持竖直； 所述连接座105螺纹连接于所述滚珠丝杠106；所述工艺门107连接于所述连接座105背离所述主体支架101的一侧；所述护带1穿过所述连接座105和所述工艺门107之间且分别与所述连接座105和所述工艺门107之间形成间隙。
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