湖北鼎汇微电子材料有限公司;湖北鼎龙控股股份有限公司罗乙杰获国家专利权
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龙图腾网获悉湖北鼎汇微电子材料有限公司;湖北鼎龙控股股份有限公司申请的专利一种抛光垫获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116262329B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-29发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202111515056.7,技术领域涉及:B24B37/24;该发明授权一种抛光垫是由罗乙杰;张季平;高越;刘敏;梅黎黎设计研发完成,并于2021-12-13向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种抛光垫在说明书摘要公布了:本发明涉及抛光垫,所述抛光垫包括聚氨酯抛光层,所述聚氨酯抛光层中包含有复合金属氧化物微单元,所述聚氨酯抛光层是原料组合的反应产物,所述原料组合包括多官能异氰酸酯与多元醇反应所得的异氰酸酯封端的预聚物、中空微球聚合物以及固化剂,本发明中通过严格控制中空微球聚合物的尺寸及尺寸分布,制备的抛光垫表现出了良好的理化特性,且具有适当的粗糙度和适量的金属元素含量,表现出良好抛光性能。
本发明授权一种抛光垫在权利要求书中公布了:1.一种抛光垫,其特征在于,包括聚氨酯抛光层,所述聚氨酯抛光层中包含有复合金属氧化物微单元,所述聚氨酯抛光层是原料组合的反应产物,所述原料组合包括多官能异氰酸酯与多元醇反应所得的异氰酸酯封端的预聚物、中空微球聚合物以及固化剂,所述复合金属氧化物微单元包含两种或两种以上金属元素; 所述金属元素包含碱土金属元素、硼族金属元素、以及过渡金属元素,所述复合金属氧化物微单元中的碱土金属元素包含镁元素和钙元素中的至少一种,所述硼族金属元素包含铝元素,所述过渡金属元素包含铁元素和铬元素中的至少一种; 所述复合金属氧化物微单元中各金属元素的含量满足以下条件:铝元素的含量不超过50ppm,铁元素的含量不超过70ppm,铬元素的含量不超过100ppm,镁元素的含量不超过50ppm,钙元素的含量不超过150ppm。
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