北京北方华创微电子装备有限公司张瑞获国家专利权
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龙图腾网获悉北京北方华创微电子装备有限公司申请的专利晶圆传输装置和方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114582771B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-29发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210172919.3，技术领域涉及：H01L21/677；该发明授权晶圆传输装置和方法是由张瑞设计研发完成，并于2022-02-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶圆传输装置和方法在说明书摘要公布了：本申请公开一种晶圆传输装置和方法，晶圆传输装置包括：机械手、控制器、至少一组压力传感器和校正平台；机械手包括承载盘，承载盘的表面设有多条凹槽，每条凹槽均关于承载盘的中心轴对称，凹槽用于在承载盘承载晶圆时，形成吸附空间；每组压力传感器均包括两个传感器单元，两个传感器单元分别设于同一条凹槽的同一个侧墙顶部，且关于中心轴对称，用于在机械手承载有晶圆时，测量晶圆在对应测量点承受的压力信息，将压力信息传输至控制器；控制器用于在至少一组压力传感器测量的压力信息不匹配时，控制机械手将承载的晶圆传回校正平台，并在校正平台调整晶圆的相对位置后，控制机械手重新吸附晶圆。本申请能够稳定地传输晶圆。
本发明授权晶圆传输装置和方法在权利要求书中公布了：1.一种晶圆传输装置，其特征在于，所述晶圆传输装置包括：机械手、控制器、至少一组压力传感器和校正平台； 所述机械手包括承载盘，所述承载盘的表面设有多条凹槽，每条所述凹槽均关于所述承载盘的中心轴对称，所述凹槽用于在所述承载盘承载所述晶圆时，形成吸附空间； 所述校正平台用于对所述晶圆与所述承载盘之间的相对位置进行校正； 每组压力传感器均包括两个传感器单元，所述两个传感器单元分别设于同一条所述凹槽的同一个侧墙顶部，且关于所述中心轴对称，用于在所述机械手承载有所述晶圆时，测量所述晶圆在对应测量点承受的压力信息，将所述压力信息传输至所述控制器； 所述控制器用于在至少一组所述压力传感器测量的压力信息不匹配时，控制所述机械手将承载的所述晶圆传回所述校正平台，并在所述校正平台调整所述晶圆的相对位置后，控制所述机械手重新吸附所述晶圆。
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