光驰科技(上海)有限公司杨启忠获国家专利权
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龙图腾网获悉光驰科技(上海)有限公司申请的专利一种基板装载治具及镀膜装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116970914B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-29发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210432157.6，技术领域涉及：C23C14/50；该发明授权一种基板装载治具及镀膜装置是由杨启忠;戴晓东;马淑莹;卢鹏设计研发完成，并于2022-04-22向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种基板装载治具及镀膜装置在说明书摘要公布了：本发明涉及薄膜制备技术领域，公开一种基板装载治具及镀膜装置。其中基板装载治具包括母装载台和子装载台，子装载台包括边框和设置于边框上的放置面，边框置于母装载台上，边框与母装载台可拆卸连接，放置面设置有预设曲度，放置面用于承载与其曲度适配的基板。本发明子装载台的放置面设置有预设曲度，用于放置与其曲度适配的基板，进而用于对具有预设曲度的基板的镀膜，而不会改变靶基距，也不会对镀膜的工艺造成影响；子装载台的边框与母装载台可拆卸连接，通过在母装载台更换具有不同预设曲度的子装载台，实现一个母装载台对不同曲度的基板的兼容装载，更大化的利用了母装载台的价值，有效地节省了基板装载治具的成本。
本发明授权一种基板装载治具及镀膜装置在权利要求书中公布了：1.一种基板装载治具，其特征在于，包括： 母装载台1； 子装载台2，包括边框21和设置于所述边框21上的放置面22，所述边框21置于所述母装载台1上，所述边框21与所述母装载台1可拆卸连接，所述放置面22设置有预设曲度，所述放置面22用于承载与其曲度适配的基板100； 所述子装载台2的内侧设置有装载块23，所述基板100与所述装载块23抵接； 所述基板装载治具还包括搬送架3，所述搬送架3与所述母装载台1连接。
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