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龙图腾网获悉纽富来科技股份有限公司申请的专利多带电粒子束描绘装置、多带电粒子束描绘方法以及记录有程序的可读取记录介质获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN117581158B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-29发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202280005325.1，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权多带电粒子束描绘装置、多带电粒子束描绘方法以及记录有程序的可读取记录介质是由野村春之设计研发完成，并于2022-04-26向国家知识产权局提交的专利申请。

本多带电粒子束描绘装置、多带电粒子束描绘方法以及记录有程序的可读取记录介质在说明书摘要公布了：本发明的一个方案的多带电粒子束描绘装置，其特征在于，具备：计算处理部，执行因向与射束阵列区域对应的处理区域内的各网格区域照射射束而产生的热被提供给作为多个网格区域之一的关注网格区域而引起的上升温度的计算处理，上述计算处理通过使用了每个上述网格区域的上述剂量代表值和表示上述网格区域产生的热扩展的热扩展函数的卷积处理进行；有效温度计算部，进行一边在条形区域上在第2方向上移动上述处理区域的位置一边反复上述计算处理的反复处理，分别计算通过实施多次上述反复处理直到上述关注网格区域从上述处理区域的上述第2方向的一端到处于另一端的位置为止而得到的多个上述上升温度的代表值，来作为上述关注网格区域的有效温度；以及剂量校正部，使用上述有效温度，校正照射各上述关注网格区域的多个射束的剂量。

本发明授权多带电粒子束描绘装置、多带电粒子束描绘方法以及记录有程序的可读取记录介质在权利要求书中公布了：1.一种多带电粒子束描绘装置，将多带电粒子束照射到试样面上的描绘区域，其特征在于，具备： 分割部，将上述描绘区域以上述试样面上的多带电粒子束的射束阵列区域的第1方向的尺寸在上述第1方向上分割而成的多个条形区域的各条形区域内，在上述第1方向和沿着上述各条形区域的工作台的移动方向即第2方向上分割为多个网格区域； 剂量代表值计算部，针对分割成的每个网格区域，计算由照射该网格区域内的多个射束产生的多个剂量的平均值、最大值、最小值或者中央值来作为剂量代表值； 计算处理部，执行因向与上述射束阵列区域对应的处理区域内的各上述网格区域照射射束而产生的热被提供给作为上述多个网格区域之一的关注网格区域而引起的上升温度的计算处理，上述计算处理通过使用了每个上述网格区域的上述剂量代表值和表示上述网格区域产生的热扩展的作为热扩散方程式的解求出的函数的卷积处理进行； 有效温度计算部，进行一边在上述条形区域上在上述第2方向上移动上述处理区域的位置一边反复上述计算处理的反复处理，分别计算通过实施多次上述反复处理直到上述关注网格区域从上述处理区域的上述第2方向的一端到处于另一端的位置为止而得到的多个上述上升温度的平均值、最大值、最小值或者中央值，来作为上述关注网格区域的有效温度； 剂量校正部，使用上述有效温度，校正照射各上述关注网格区域的多个射束的剂量；以及 描绘机构，使用分别校正后的上述剂量的多带电粒子束，在上述试样上描绘图案。

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