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三河建华高科有限责任公司杨加荣获国家专利权

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龙图腾网获悉三河建华高科有限责任公司申请的专利一种接触式双工位自动曝光机的对准显微镜定位机构获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN114839845B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-29发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202210495125.0,技术领域涉及:G03F9/00;该发明授权一种接触式双工位自动曝光机的对准显微镜定位机构是由杨加荣;周占福;张历阳;王振宇设计研发完成,并于2022-05-08向国家知识产权局提交的专利申请。

一种接触式双工位自动曝光机的对准显微镜定位机构在说明书摘要公布了:本发明提供了一种接触式双工位自动曝光机的对准显微镜定位机构,包括曝光光源移动组件、曝光光源组件和对准显微镜限位组件,所述曝光光源移动组件包括光源移动滚珠丝杠、光源移动电机、滑动机构和安装板。本发明在高效率和较低成本的情况下保证了第一对准显微镜和第二对准显微镜的重复定位精度;本结构稳定可靠,可以在使用一组C7精度等级导程为20mm的光源移动滚珠丝杠和P精度等级的滑动机构、滑轨、第一滑块和第二滑块的情况下把第一对准显微镜和第二对准显微镜的重复定位精度提高到2μm,在该位置其定位精度相当于C2等级光源移动滚珠丝杠的精度,运动需要的时间较短,提高生产效率,降低使用成本。

本发明授权一种接触式双工位自动曝光机的对准显微镜定位机构在权利要求书中公布了:1.一种接触式双工位自动曝光机的对准显微镜定位机构,包括曝光光源移动组件(20)、曝光光源组件(30)和对准显微镜限位组件(40),其特征在于:第一工作台(5)和第二工作台(7)的下表面安装于操作台上; 所述曝光光源移动组件(20)包括光源移动滚珠丝杠(2)、光源移动电机(3)、滑动机构(15)和安装板(18);所述曝光光源移动组件(20)的上表面安装有曝光光源组件(30),所述曝光光源组件(30)的下表面安装有对准显微镜限位组件(40);所述曝光光源组件(30)包括曝光光源(1); 所述对准显微镜限位组件(40)包括第一对准显微镜(4)、第二对准显微镜(6)、滑轨(8)、第一滑块(9)、第二滑块(10)、第一拉簧柱(11)、第二拉簧柱(12)、固定限位块(13)、限位板(14)、连接板(16)和底板(17); 所述连接板(16)共设置两个,所述第一对准显微镜(4)和所述第二对准显微镜(6)的下表面对称安装于两个所述连接板(16)的上表面; 所述底板(17)的上表面固定安装有滑轨(8),所述滑轨(8)的两侧分别滑动连接于所述第一滑块(9)与所述第二滑块(10)的内侧壁; 所述连接板(16)的下表面固定安装于所述第一滑块(9)和所述第二滑块(10)的上表面; 所述底板(17)的上表面固定安装于所述曝光光源(1)的下表面; 所述第一工作台(5)和所述第二工作台(7)的上表面分别安装有两个固定限位块(13),所述第一对准显微镜(4)和第二对准显微镜(6)处均连接有限位板(14),所述限位板(14)与固定限位块(13)的位置对应设置; 所述光源移动电机(3)的输出轴连接于所述光源移动滚珠丝杠(2)的一端,所述光源移动滚珠丝杠(2)的另一端通过轴承盘转动连接于所述安装板(18),所述光源移动滚珠丝杠(2)的丝杠母安装于所述曝光光源(1)的下表面; 所述底板(17)的上表面对称安装有四个第一拉簧柱(11),所述连接板(16)的下表面对称安装有四个第二拉簧柱(12),所述第一拉簧柱(11)与第二拉簧柱(12)之间通过拉簧连接; 所述安装板(18)的上表面安装于所述滑动机构(15)的下表面,所述滑动机构(15)的上表面安装于所述曝光光源(1)的下表面。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人三河建华高科有限责任公司,其通讯地址为:065202 河北省廊坊市三河市燕郊开发区工业大街北侧、凌仁羊绒公司西侧;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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