买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网获悉华中科技大学申请的专利一种基于变面积梳齿电容的MEMS相对重力仪探头及重力仪获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115061213B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-29发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210603702.3，技术领域涉及：G01V7/00；该发明授权一种基于变面积梳齿电容的MEMS相对重力仪探头及重力仪是由伍文杰;蔡冰洋;高乐;王元蕾;涂良成设计研发完成，并于2022-05-30向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种基于变面积梳齿电容的MEMS相对重力仪探头及重力仪在说明书摘要公布了：本发明公开了一种基于变面积梳齿电容的MEMS相对重力仪探头及重力仪，属于仪器仪表领域。探头包括：弹簧结构、检验质量、动梳齿、定梳齿及外框，所述弹簧结构固定端设置在外框上，自由端与检验质量相连，所述动梳齿设置在检验质量的上下表面，所述定梳齿相应的设置在外框上，所述动梳齿和定梳齿均为异形梳齿结构，所述异形梳齿结构包括底部梳齿和顶部梳齿，且所述底部梳齿的宽度小于顶部梳齿的宽度；所述动梳齿的底部梳齿固定在所述检验质量上，所述定梳齿的底部梳齿固定在所述外框上，工作时，所述动梳齿的顶部梳齿与所述定梳齿的顶部梳齿构成变面积差分梳齿电容结构。本发明能够提升电容位移传感的灵敏度，并减小重力仪探头的机械热噪声。

本发明授权一种基于变面积梳齿电容的MEMS相对重力仪探头及重力仪在权利要求书中公布了：1.一种基于变面积梳齿电容的MEMS相对重力仪探头，其特征在于，包括弹簧结构1、检验质量2、动梳齿3、定梳齿及外框6，所述弹簧结构1固定端设置在外框6上，自由端与检验质量2相连，所述动梳齿3设置在检验质量2的上下表面，所述定梳齿相应的设置在外框6上； 其中，所述动梳齿和定梳齿均为异形梳齿结构，所述异形梳齿结构包括底部梳齿8和顶部梳齿7，且所述底部梳齿8的宽度小于顶部梳齿7的宽度；所述动梳齿的底部梳齿固定在所述检验质量上，所述定梳齿的底部梳齿固定在所述外框上； 刻蚀时，所述定梳齿的底部梳齿正对所述动梳齿的顶部梳齿，所述定梳齿的顶部梳齿正对所述动梳齿的底部梳齿； 工作时，利用所述检验质量受重力作用的位移将所述动梳齿扣入所述定梳齿，所述检验质量上下两端的动梳齿与定梳齿的顶部梳齿正对面积相同，以达到平衡状态；当待测重力加速度输入时，所述弹簧结构用于将待测重力加速度变化转换为检验质量的位移变化，所述动梳齿的顶部梳齿与所述定梳齿的顶部梳齿构成变面积差分梳齿电容结构，用于将所述位移变化转换为差分电容信号。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人华中科技大学，其通讯地址为：430074 湖北省武汉市洪山区珞喻路1037号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。