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苏州芯聚半导体有限公司刘佳擎获国家专利权

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龙图腾网获悉苏州芯聚半导体有限公司申请的专利Micro-LED芯片结构及其制作方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115274969B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-29发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202210629758.6,技术领域涉及:H10H20/841;该发明授权Micro-LED芯片结构及其制作方法是由刘佳擎;韦冬;金峰;黄朝葵;张广庚设计研发完成,并于2022-06-02向国家知识产权局提交的专利申请。

Micro-LED芯片结构及其制作方法在说明书摘要公布了:本发明揭示了一种Micro‑LED芯片结构,所述芯片结构包括透光基板、形成于透光基板上的外延层,外延层包括n型半导体层、发光层和p型半导体层,发光层形成于n型半导体层和p型半导体层之间,还包括反射层,反射层的光反射率大于外延层的光反射率;反射层完全覆盖外延层侧表面,以及部分覆盖透光基板侧表面。减少芯片侧面出光,提高Micro‑LED光取出率,降低能量损失,实现具有高亮度显示屏的要求;侧面包覆反射层,也能够阻止外延层内金属迁移,避免芯片正面切割工艺带来的切深、切宽对总体制作良率、裂痕、双晶甚至翻转损失的影响,提高Micro‑LED芯片的可靠性。

本发明授权Micro-LED芯片结构及其制作方法在权利要求书中公布了:1.一种Micro-LED芯片结构的制作方法,其特征在于,所述制作方法包括步骤: 提供一透光基板; 在所述透光基板上依次生长n型半导体层、发光层和p型半导体层形成外延层; 正面切割所述外延层上表面形成切割凹槽,所述切割凹槽延伸至所述透光基板内;正面切割所述透光基板,直至切割深度为所述透光基板厚度的40%~60%; 在所述切割凹槽内形成反射层,所述反射层的光反射率大于所述外延层的光反射率; 在所述正面切割所述外延层上表面形成切割凹槽,所述切割凹槽延伸至所述透光基板内,具体包括步骤: 沿所述p型半导体层上表面区域间隔向内刻蚀形成露出n型半导体层的沟槽; 在所述p型半导体层上表面和沟槽表面区域沉积保护层; 正面切割所述沟槽区域,在透光基板内形成切割凹槽; 利用热酸腐蚀工艺腐蚀所述保护层以及切割凹槽内的切割生成颗粒。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人苏州芯聚半导体有限公司,其通讯地址为:215000 江苏省苏州市自由贸易试验区苏州片区苏州工业园区金鸡湖大道99号苏州纳米城西北区02幢512室;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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