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龙图腾网获悉中国电子科技集团公司第四十八研究所申请的专利用于立式炉管设备舟架的晶圆放置规则的配置方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115458424B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-29发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211137283.5，技术领域涉及：H01L21/66；该发明授权用于立式炉管设备舟架的晶圆放置规则的配置方法是由何永平;杨金;周水清;李俊朋;陈若愚设计研发完成，并于2022-09-19向国家知识产权局提交的专利申请。

本用于立式炉管设备舟架的晶圆放置规则的配置方法在说明书摘要公布了：本发明中公开了一种用于立式炉管设备舟架的晶圆放置规则的配置方法，该方法通过获取待进入舟架的不同类型晶圆在缓存区的剩余情况，并根据缓存区不同类型晶圆的剩余情况，从预设的不同类型晶圆的放置规则表中获取各个类型晶圆进入舟架的放置方式，因而能够根据缓存区不同类型晶圆的剩余情况，及时、灵活的调整不同晶圆的放置方式，配置晶圆放置规则，从而能够快速确定不同类型晶圆放置的优选方案，不仅操作简单，而且调整效率高、出错率低，能够适应于不同情况下舟架晶圆放置的需求，使用价值高，应用前景好。

本发明授权用于立式炉管设备舟架的晶圆放置规则的配置方法在权利要求书中公布了：1.一种用于立式炉管设备舟架的晶圆放置规则的配置方法，其特征在于，所述配置方法包括： S1、获取待进入舟架的不同类型晶圆在缓存区的剩余情况；所述晶圆的类型包括挡片、填充片、工艺片和监测片； S2、根据缓存区不同类型晶圆的剩余情况，从预设的不同类型晶圆的放置规则表中获取各个类型晶圆进入舟架的放置方式；所述不同类型晶圆的放置规则表中包含各个类型晶圆在缓存区的剩余情况和对应的放置方式之间的映射关系； 所述晶圆的类型为工艺片时，获取缓存区放置工艺片的片盒数量以及各片盒中工艺片的数量；所述晶圆的类型为工艺片时，根据缓存区放置工艺片的片盒数量以及各片盒中工艺片的数量，从设定的工艺片的放置规则表中获取工艺片进入舟架的放置方式； 所述工艺片的放置规则表中包含缓存区放置工艺片的片盒数量以及各片盒中工艺片的数量与工艺片放置方式之间的映射关系，具体为： 当缓存区放置工艺片的片盒数量≥1个且片盒中工艺片的数量大于或等于待进入舟架所需数量时，对应的工艺片的放置方式为以下任意一种：方式一，将工艺片放置到舟架中除放置有挡片和监测片以外的其他片槽中，方式二，将工艺片放置到舟架上的指定片槽中； 当缓存区放置工艺片的片盒数量≥1个且片盒中工艺片的数量小于待进入舟架所需数量时，对应的工艺片的放置方式为以下任意一种：方式一，在舟架上设定中心片槽，将工艺片放置在设定的中心片槽的两侧，空余片槽用填充片补充；方式二，将工艺片放置到舟架中除放置有挡片和监测片以外的其他片槽中，空余片槽用填充片补充；方式三，给出缓存区片盒中工艺片数量不足的提示； 所述晶圆的类型为挡片时，获取缓存区挡片的数量，根据缓存区挡片的数量，从设定的档片的放置规则表中获取挡片进入舟架的放置方式； 所述档片的放置规则表中包含缓存区挡片的数量与档片放置方式之间的映射关系，具体为： 当缓存区挡片的数量大于或等于待进入舟架所需数量时，对应的挡片的放置方式为：将挡片放置在舟架的顶部和底部； 当缓存区片盒中挡片的数量小于待进入舟架所需数量时，对应的挡片的放置方式为以下任意一种：方式一：将填充片放置到挡片在舟架上的预设片槽中；方式二：将舟架上缺少挡片的片槽空余；方式三：给出缓存区片盒中挡片数量不足的提示； 所述晶圆的类型为监测片时，获取缓存区监测片的数量，根据缓存区监测片的数量，从设定的监测片的放置规则表中获取监测片进入舟架的放置方式； 所述监测片的放置规则表中包含缓存区监测片的数量与监测片放置方式之间的映射关系，具体为： 当缓存区监测片的数量大于或等于待进入舟架所需数量时，对应的挡片的放置方式为以下任意一种：方式一，将监测片放置到舟架上对应的片槽中；方式二，将监测片放置到舟架上的指定片槽中； 当缓存区监测片的数量小于待进入舟架所需数量时，对应的挡片的放置方式为以下任意一种：方式一，将填充片放置到监测片在舟架上的预设片槽中；方式二，不进行处理，把舟架上缺少监测片的片槽空余；方式三，给出缓存区片盒中监测片数量不足的提示； 所述晶圆为填充片时，获取缓存区填充片的数量，根据缓存区填充片的数量，从设定的填充片的放置规则表中获取填充片进入舟架的放置方式； 所述填充片的放置规则表中包含缓存区填充片的数量与填充片放置方式之间的映射关系，具体为： 当缓存区填充片的数量大于或等于待进入舟架所需数量时，对应的填充片的放置方式为：根据需求将填充片放入到舟架的片槽中； 当缓存区填充片的数量小于待进入舟架所需数量时，对应的填充片的放置方式为以下任意一种：方式一，将舟架上待放置填充片的片槽空出；方式二，给出缓存区片盒中填充片数量不足的提示。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人中国电子科技集团公司第四十八研究所，其通讯地址为：410111 湖南省长沙市天心区新开铺路1025号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。