买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网获悉华能新能源股份有限公司;中国华能集团清洁能源技术研究院有限公司;华能青海发电有限公司申请的专利一种真空吸附的加热退火装置及方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115547884B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-29发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211150342.2，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权一种真空吸附的加热退火装置及方法是由刘庆伏;肖平;杨永军;赵志国;赵东明;李新连;付林设计研发完成，并于2022-09-21向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种真空吸附的加热退火装置及方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种真空吸附的加热退火装置及加热退火方法，包括：加热平台，具有沿周向布置的密封圈，密封圈凸出加热平台的表面并用于支撑基板，基板在加热平台上的竖直投影能够完全遮挡密封圈；真空吸附组件，设置在加热平台上，密封圈饶设在真空吸附组件外侧，真空吸附组件吸附基板时密封圈受压与加热平台平齐。通过真空吸附基板，以使基板靠近加热平台，使基板挤压密封圈，密封圈受压变形，直至基板与加热平台紧密接触，由于密封圈的密封作用，可使加热平台与基板之间密封连接，避免了密封不严，真空吸盘组件吸附时吸附效果不稳定的问题，从而形成良好的热传导，并且受热均匀，避免因接触不良导致受热不均从而产生的翘曲应变和裂片的问题。

本发明授权一种真空吸附的加热退火装置及方法在权利要求书中公布了：1.一种真空吸附的加热退火装置，其特征在于，用于对基板加热退火，包括： 加热平台，所述加热平台上具有沿周向布置的密封圈，所述密封圈凸出所述加热平台的表面并用于支撑所述基板，且所述基板在所述加热平台上的竖直投影能够完全遮挡所述密封圈； 真空吸附组件，所述真空吸附组件设置在所述加热平台上，并且所述密封圈饶设在所述真空吸附组件外侧，且所述真空吸附组件吸附所述基板时所述密封圈受压与所述加热平台平齐；所述加热平台上具有密封槽，所述密封圈限位卡设或粘接在所述密封槽内，所述密封槽的形状与所述基板的边缘轮廓相同，且所述密封圈安装在所述密封槽内突出所述加热平台的高度h和所述密封圈的直径D的关系为：10％D≤h≤50％D； 所述真空吸附组件包括：用于吸附所述基板的吸附通道，所述吸附通道贯穿所述加热平台；真空泵，所述真空泵与所述吸附通道连通； 所述吸附通道包括：刻蚀在所述加热平台上的排气槽；与所述排气槽连通的抽气孔，所述抽气孔开设在所述加热平台上，并能够与所述真空泵密封连通，所述抽气孔的直径小于所述排气槽的直径。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人华能新能源股份有限公司;中国华能集团清洁能源技术研究院有限公司;华能青海发电有限公司，其通讯地址为：100036 北京市海淀区复兴路甲23号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。