华能新能源股份有限公司;中国华能集团清洁能源技术研究院有限公司;华能青海发电有限公司肖平获国家专利权
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龙图腾网获悉华能新能源股份有限公司;中国华能集团清洁能源技术研究院有限公司;华能青海发电有限公司申请的专利一种退火装置及退火方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115472496B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-29发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211150385.0，技术领域涉及：H01L21/324；该发明授权一种退火装置及退火方法是由肖平;赵建勇;杨永军;赵东明;赵志国;李新连;刘祥设计研发完成，并于2022-09-21向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种退火装置及退火方法在说明书摘要公布了：本申请提供了一种退火装置及退火方法，其中退火装置包括：退火炉，设置在所述退火炉内的调节装置，用于调节所述退火炉内部的工作参数，其中，所述工作参数包括温度参数和或湿度参数。由于退火炉内存在调节装置，能够基于需求调整退火炉内部的工作参数，在退火的各个阶段都能提供合适的工作参数，进而保证了退火效果。
本发明授权一种退火装置及退火方法在权利要求书中公布了：1.一种退火装置，其特征在于，包括： 退火炉；所述退火炉具有炉腔，所述炉腔的底部为相对于所述炉腔的侧壁可以分离的加热板，所述加热板朝向所述炉腔的一侧用于放置待处理基片；所述退火炉的顶部具有机械控制组件，用于控制所述炉腔的侧壁和顶部相对所述加热板移动； 设置在所述退火炉内的调节装置，且设置在所述炉腔的顶部，用于调节所述炉腔内的工作参数；其中，所述工作参数包括温度参数和或湿度参数； 所述退火炉具有隔离组件，所述隔离组件具有第一状态和第二状态，在所述第一状态时，在所述炉腔的底部指向所述炉腔的顶部方向上，所述隔离组件用于将所述炉腔隔离为第一空间和第二空间，在所述第二状态时，所述隔离组件能够使得所述第一空间和所述第二空间连通； 所述炉腔具有相对的第一侧壁和第二侧壁；所述隔离组件包括：第一子隔离组件，所述第一子隔离组件的一端可转动固定在所述第一侧壁；第二子隔离组件，所述第二子隔离组件的一端可转动固定在所述第二侧壁；在所述第一状态，所述第一子隔离组件的另一端与所述第二子隔离组件的另一端在所述方向上重叠，以将所述炉腔隔离为所述第一空间和所述第二空间；在所述第二状态，所述第一子隔离组件转动贴合到所述第一侧壁，所述第二子隔离组件转动贴合到所述第二侧壁。
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