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龙图腾网获悉佳能特机株式会社申请的专利成膜量测定装置及方法、成膜装置及方法、电子器件的制造方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116121709B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-29发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211264102.5，技术领域涉及：C23C14/24；该发明授权成膜量测定装置及方法、成膜装置及方法、电子器件的制造方法是由白仓瑞穗;宫本宏寿;长谷川靖;清水瞬;内田亘设计研发完成，并于2022-10-17向国家知识产权局提交的专利申请。

本成膜量测定装置及方法、成膜装置及方法、电子器件的制造方法在说明书摘要公布了：本发明提供能够提高生产率的成膜量测定装置、成膜装置、成膜量测定方法、成膜方法以及电子器件的制造方法。在第一期间，进行使用第一石英振子的成膜量的测定，在从所述第一期间结束起到第二期间开始为止的期间，暂停基于所述第一石英振子的成膜量的测定，在所述第二期间，进行使用所述第一石英振子的成膜量的测定，在从所述第一期间结束起到所述第二期间开始为止的期间中的第三期间，进行使用所述第二石英振子的成膜量的测定，在所述第二期间，在比所述第一期间长的期间内进行基于所述第一石英振子的成膜量的测定。

本发明授权成膜量测定装置及方法、成膜装置及方法、电子器件的制造方法在权利要求书中公布了：1.一种成膜量测定装置的控制装置，具备对成膜量测定装置进行控制的控制部，所述成膜量测定装置用于依次使用至少包括第一石英振子以及第二石英振子的多个石英振子，来测定在成膜装置中在减压环境下通过成膜源向基板成膜的成膜量，所述成膜量测定装置的控制装置的特征在于， 所述成膜量测定装置具备所述多个石英振子，并构成为通过由所述控制部控制所述成膜量测定装置，能够变更测定所使用的所述石英振子， 所述控制部构成为： 在第一期间，为了依次进行使用所述第一石英振子的向多个基板成膜的成膜量的测定，控制所述成膜量测定装置，以使成膜材料附着于所述第一石英振子， 在从所述第一期间结束起到比所述第一期间长的期间即第二期间开始为止的期间，为了暂停基于所述第一石英振子的成膜量的测定，控制所述成膜量测定装置，以使成膜材料不附着于所述第一石英振子， 在从所述第一期间结束起到所述第二期间开始为止的期间中的第三期间，为了依次进行使用所述第二石英振子的向多个基板成膜的成膜量的测定，控制所述成膜量测定装置，以使成膜材料附着于所述第二石英振子， 在所述第二期间，为了依次进行使用所述第一石英振子的向多个基板成膜的成膜量的测定，控制所述成膜量测定装置，以使成膜材料附着于所述第一石英振子， 在使用所述第一石英振子的所述第二期间的向最初的基板成膜的成膜量的测定中，以使直至测定结果稳定为止所需要的期间比所述最初的基板的更换所需要的期间短的方式，设定使使用所述第一石英振子的成膜量的测定暂停的暂停期间。

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