厦门大学张淼获国家专利权
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龙图腾网获悉厦门大学申请的专利基于CGA封装的中空杆壁波导器件的制备方法、设计方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115579604B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-29发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211301295.7，技术领域涉及：H01P11/00；该发明授权基于CGA封装的中空杆壁波导器件的制备方法、设计方法是由张淼;吴舒月;周庆;于大全;柳清伙设计研发完成，并于2022-10-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本基于CGA封装的中空杆壁波导器件的制备方法、设计方法在说明书摘要公布了：本发明涉及传输线波导技术领域，特别涉及一种基于CGA封装的中空杆壁波导器件的制备方法，其包括以下步骤：提供一具有馈电孔的第一铜金属层，第一铜金属层具有相对的第一表面和第二表面；将载板键合至第一铜金属层的第一表面上；在第一铜金属层的第二表面由下至上依次形成一钛金属层以及一铜金属层；在铜金属层的上表面涂覆光刻干膜，光刻、刻蚀形成图案化铜金属层，以露出部分钛金属层；以图案化铜金属层为掩膜，刻蚀去除图案化铜金属层并形成图案化钛金属层；识别图案化钛金属层，进行丝网定位刷导电银浆；识别图案化钛金属层，定位铜柱焊垫位置并根据设计图纸完成铜柱的柱栅列阵封装植柱；提供一具有馈电孔的第二铜金属层；在铜柱的顶表面用银浆进行点胶以焊接在第二铜金属层上。
本发明授权基于CGA封装的中空杆壁波导器件的制备方法、设计方法在权利要求书中公布了：1.一种基于CGA封装的中空杆壁波导器件的制备方法，其特征在于，包括以下步骤： 提供一具有馈电孔的第一铜金属层，所述第一铜金属层具有相对的第一表面和第二表面； 将载板键合至所述第一铜金属层的第一表面上； 在所述第一铜金属层的第二表面由下至上依次形成一钛金属层以及一铜金属层； 在铜金属层的上表面涂覆光刻干膜，光刻、刻蚀形成图案化铜金属层，以露出部分钛金属层； 以图案化铜金属层为掩膜，刻蚀去除图案化铜金属层并形成图案化钛金属层； 识别图案化钛金属层，进行丝网定位刷导电银浆； 识别图案化钛金属层，定位铜柱焊垫位置并根据设计图纸完成铜柱的柱栅列阵封装植柱，所述铜柱呈周期性排布，且相邻铜柱间形成空气间隙，以形成传输通道； 提供一具有馈电孔的第二铜金属层； 在铜柱的顶表面用银浆进行点胶以焊接在所述第二铜金属层上。
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