中国科学院大连化学物理研究所蒋吉春获国家专利权
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龙图腾网获悉中国科学院大连化学物理研究所申请的专利一种离子软沉积装置获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115732308B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-29发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202211501331.4,技术领域涉及:H01J49/06;该发明授权一种离子软沉积装置是由蒋吉春;花磊;樊志刚;李金旭;李海洋设计研发完成,并于2022-11-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种离子软沉积装置在说明书摘要公布了:本发明涉及化合物表征技术领域,尤其涉及一种离子软沉积装置。包括软沉积腔体及由上至下设置于软沉积腔体内的离子准直透镜组和传动底座,其中软沉积腔体的顶部设有与准直透镜组同轴线的通孔,通孔用于沉积离子的引入;传动底座可水平移动,传动底座上设有软沉积靶和MCP荧光屏,MCP荧光屏用于对沉积离子进行束斑成像;软沉积靶用于沉积离子的沉积。本发明通过离子减速控制离子沉积能量,通过MCP荧光屏进行离子可视化成像,减小束斑提升单位面积沉积效率,可辅助制备质谱实现更高效的样品制备。
本发明授权一种离子软沉积装置在权利要求书中公布了:1.一种离子软沉积装置,其特征在于,包括软沉积腔体(2)及由上至下设置于软沉积腔体(2)内的离子准直透镜组(11)和传动底座(3),其中软沉积腔体(2)的顶部设有与准直透镜组(11)同轴线的通孔(12),通孔(12)用于沉积离子(1)的引入;传动底座(3)可水平移动,传动底座(3)上设有软沉积靶(5)和MCP荧光屏(8),MCP荧光屏(8)用于对沉积离子(1)进行束斑成像;软沉积靶(5)用于沉积离子(1)的沉积; 所述软沉积靶(5)为圆形平板状结构的导电金属;所述软沉积靶(5)通过导线与电流计(6)相连,电流计(6)用于检测沉积电流; 所述离子准直透镜组(11)包括由上至下设置的偏转透镜和单透镜; 所述单透镜由三个依次间隔且同轴设置的圆环电极组成;所述偏转透镜由同圆心对称排布的四个14圆环电极组成。
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