华中光电技术研究所(中国船舶集团有限公司第七一七研究所)马东获国家专利权
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龙图腾网获悉华中光电技术研究所(中国船舶集团有限公司第七一七研究所)申请的专利一种石英谐振梁芯片贴片装置和方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115872353B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-07-29发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202211579024.8,技术领域涉及:B81C3/00;该发明授权一种石英谐振梁芯片贴片装置和方法是由马东;刘文明;张运权;张鹏斐;曲天良设计研发完成,并于2022-12-06向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种石英谐振梁芯片贴片装置和方法在说明书摘要公布了:本发明公开了一种石英谐振梁芯片贴片装置,包括粘结配重块、支撑框架,以及安装在支撑框架上的TO底座拾取模块、谐振梁芯片放置模块、视觉对位模块、加热固胶模块,通过吸附带有粘结配重块的TO底座向石英谐振梁芯片粘结的方式,结合透明的芯片放置台上放置透明的石英谐振梁芯片,并用笔式相机从芯片放置台下方观察TO底座和石英谐振梁芯片位置,完成对正粘贴,并利用原位加热固胶方式固化粘贴。本发明大大简化了视觉系统,并用粘结配重块的自重提供精确、恒定的粘贴力,保证粘贴效果并能有效保护石英谐振梁芯片,采用原位加热固胶方式可避免因挪动芯片产生错位,提高了石英谐振梁芯片的可靠性,并降低贴片系统复杂度,降低贴片成本。
本发明授权一种石英谐振梁芯片贴片装置和方法在权利要求书中公布了:1.一种石英谐振梁芯片贴片装置,其特征在于,包括粘结配重块、TO底座拾取模块、谐振梁芯片放置模块、视觉对位模块、加热固胶模块和支撑框架; 粘结配重块用于在芯片粘结时固定TO底座,并提供芯片粘结时的压紧力; TO底座拾取模块,包括XYZ三轴平移台和真空吸笔,真空吸笔通过固定夹具沿XYZ三轴平移台的Z轴方向固定,真空吸笔端部设置真空吸盘,用于吸放装配有粘结配重块的TO底座; 谐振梁芯片放置模块,包括对心设置的芯片放置台、放置台支撑板、旋转工作台,旋转台固定板和调平支撑底座,芯片放置台安装在放置台支撑板上,放置台支撑板、旋转工作台、旋转台固定板和调平支撑底座均为中心镂空结构且依次从上到下堆叠安装,保证芯片放置台下部为空; 视觉对位模块,包括笔式相机、调整支架和图像显示屏,笔式相机通过调整支架设置于所述芯片放置台下方,且笔式相机的光轴与所述芯片放置台工作面垂直,所述图像显示屏和笔式相机连接,用于显示笔式相机采集的图像; 加热固胶模块,包括加热装置、温度传感器、温控仪和固定支架,温控仪分别与加热装置和温度传感器连接,温度传感器安装在所述芯片放置台工作区附近,固定支架与所述旋转工作台同心设置,加热装置安装在固定支架上,且加热装置的热场中心覆盖所述芯片放置台的工作区; 支撑框架,包括上支撑板和下支撑板,上支撑板为环形,通过圆周均匀分布的长度可调节的支撑杆与下支撑板平行安装,上支撑板上设置有所述TO底座拾取模块,上支撑板与所述下支撑板之间设置所述谐振梁芯片放置模块、所述加热固胶模块和所述视觉对位模块,且所述TO底座拾取模块的XYZ三轴平移台的Z轴方向与所述视觉对位模块的笔试相机的光轴平行。
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